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韩超
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49
被引量:85
H指数:4
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西安交通大学
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赵玉龙
西安交通大学
李村
西安交通大学
李波
西安交通大学
赵友
西安交通大学
张琪
西安交通大学
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带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片
一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片,包括键合的石英结构和硅结构;石英结构包括石英框架、石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、质量块、输入端和刻蚀间隙组成的平面内差动石英振梁芯片结构;硅结构包括硅框架,硅框架内设...
赵玉龙
韩超
李村
李波
张琪
赵友
文献传递
基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计
本发明提供基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计,芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构,石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块,硅基结构包括硅基框架和硅质量块;在石英框架和硅基...
李村
韩超
赵玉龙
李波
张全伟
白冰
文献传递
高精度石英振梁谐振式传感器测试系统设计
被引量:4
2018年
为了满足高精度石英振梁谐振式传感器的测试要求,设计了一种基于FPGA的带实时温度监测的双路等精度频率采集系统。系统采用Verilog语言模块化编程方法实现双路等精度测频原理和ⅡC实时通讯,然后运用基于FPGA的SOPC技术完成自定义测频测温IP核的封装,并通过调用各种IP核构建SOPC硬件,最后利用NiosⅡ软核处理器实现频率值和温度值的浮点解算、LCD显示、串口通讯等功能。该设计方案通过仿真和实验验证了测试系统以50 Hz采样频率运行时,测频精度达到了10-6。
孙登强
赵玉龙
李波
李村
韩超
关键词:
数据采集
等精度测频
温度监测
FPGA
一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计
一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计,包括金属基和两个双端固支石英音叉,金属基包括质量块、第一挠性铰链、第二挠性铰链、固定金属基座,质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与固定金属基座连接;两个双端固支石英音叉结构相同...
李村
赵玉龙
黄振秋
李波
韩超
白冰
文献传递
无形资产“名牌”是高校的生命
2003年
高等院校无形资产管理几乎是一项空白,本文针对高校校名校徽所采取的一些管理办法和保护措施进行了研究与探讨。
钱文浚
张庆林
韩超
孙明芹
关键词:
高校
无形资产管理
校名
校徽
一种石英一体式谐振加速度计
一种石英一体式谐振加速度计,包括外围的支撑框架,支撑框架通过柔性铰链与两个柔性杠杆放大机构的一端相连,两个柔性杠杆放大机构的另一端通过柔性铰链和质量块连接,两个柔性杠杆放大机构位于加速度计的敏感方向SA上,两个柔性杠杆放...
赵玉龙
李波
李村
韩超
赵建华
蒋庄德
文献传递
一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用
本发明提供一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用,其工艺过程为:首先,用压电石英层、释放层和硅基底组成“硅‑释放层‑石英”三明治式QoS基片,硅基底用于强度支撑;压电石英层为器件层;中间层为释放层,由粘接剂组成;第二步,...
李村
赵玉龙
韩超
李波
张全伟
白冰
一种悬臂梁式差动谐振压力传感器芯片
一种悬臂梁式差动谐振压力传感器芯片,包括芯片衬底层,芯片衬底层上设有压力敏感膜层,压力敏感膜层上设有支撑层,支撑层上设有悬臂梁结构层;悬臂梁的上下两侧平行对称安装有第一石英双端固支音叉和第二石英双端固支音叉;测量压力时,...
赵玉龙
张全伟
李村
李波
韩超
葛晓慧
文献传递
一种跷跷板结构的自主碰撞式谐振器
一种跷跷板结构的自主碰撞式谐振器,包括可动极板,可动极板的前、后侧连接有第一支撑梁、第二支撑梁,支撑梁共同支撑可动极板,使得可动极板能够围绕支撑梁旋转,可动极板的运动方式类似跷跷板;可动极板的左、右侧下方设有第一电极、第...
李村
赵玉龙
韩超
蒋庄德
文献传递
一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计
一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计,包括金属基和两个双端固支石英音叉,金属基包括质量块、第一挠性铰链、第二挠性铰链、固定金属基座,质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与固定金属基座连接;两个双端固支石英音叉结构相同...
李村
赵玉龙
黄振秋
李波
韩超
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