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赵玉龙
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594
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H指数:11
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西安交通大学
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西安交通大学机械工程学院精密工...
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基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究
被引量:7
2008年
针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。
刘元浩
赵立波
赵玉龙
蒋庄德
田边
孟超
关键词:
有限元分析
一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法
本发明公开了一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法,所述齿轮动态啮合力检测薄膜传感器,包括:绝缘层,用于设置于齿轮基体表面;电极,电极溅射于绝缘层的表面;电极包括齿电极和轴电极,齿电极和轴电极通过导线电连接;压力敏...
张琪
庞星
赵星越
赵玉龙
一种复合量程石英谐振加速度传感器
一种复合量程石英谐振加速度传感器,由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计嵌套构成,大小量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一石英片贯穿腐蚀加工而成;大小量程加速度计均包括石英音叉、柔性杠杆、应力分配梁...
赵玉龙
蔡辉
韩超
李村
李波
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一种隔断式MEMS引信
一种隔断式MEMS引信,包括药剂层,药剂层上部和药剂盖板层通过键合的方式连接,药剂层下部和安保装置层上部通过键合的方式连接,安保装置层下部和加速膛层黏贴,安保装置层包括硅衬底层,二氧化硅层以及可动硅结构层依次制作在硅衬底...
赵玉龙
胡腾江
李秀源
白颖伟
带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器
带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器,包括硅基和双端固定石英音叉,硅基上的质量块通过两个挠性梁与硅基相连,硅基表面在挠性梁同侧刻蚀有槽,槽的两端分别与质量块挠性梁和温度隔离结构下方的腔体相连,温度隔离结构由固定座和支撑...
赵玉龙
李村
饶浩
文献传递
耐高温压力传感器
本发明公开了一种耐高温压力传感器,包括底座、压力膜片、中间体、压力传递杆、悬臂梁、垫圈、硅隔离应变片等组成,压力膜片焊接在中间体上再与底座上通过激光连接,压力膜片与压力传递杆固接,压力传递杆上装配有悬臂梁,悬臂梁上贴有硅...
赵玉龙
蒋庄德
赵立波
文献传递
一种四膜结构硅微流量传感器芯片
一种四膜结构硅微流量传感器芯片,包括四个梯形硅膜,梯形硅膜位于外围支撑硅基的中间,梯形硅膜的长边与外围支撑硅基相连,每个梯形硅膜上靠近长边中央配置有一个压阻条,四个压阻条构成惠斯通电桥,当一定速度流体作用于传感器芯片时,...
赵玉龙
陈佩
李一瑶
文献传递
一种高精度液位、温度、密度多功能测量系统
一种高精度液位、温度、密度多功能测量系统,包括液位变送器,液位变送器的输出信号送入信号调理与显示电路;液位变送器壳体与连接杆连接,连接杆通过转接座与防爆接线盒相连,信号调理与显示电路固定于防爆接线盒内,对比测量传感器和主...
赵玉龙
牛喆
郭方方
王建军
文献传递
飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法
飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法,选用石英玻璃作为样品材料;通过飞秒激光在其表面加工得到微透镜阵列弹坑;将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀,即可完成微透镜阵列光束整形器的制备;本发明利用...
杨青
陈烽
卢静
赵玉龙
王先华
刘贺炜
一种石英一体式谐振加速度计
一种石英一体式谐振加速度计,包括外围的支撑框架,支撑框架通过柔性铰链与两个柔性杠杆放大机构的一端相连,两个柔性杠杆放大机构的另一端通过柔性铰链和质量块连接,两个柔性杠杆放大机构位于加速度计的敏感方向SA上,两个柔性杠杆放...
赵玉龙
李波
李村
韩超
赵建华
蒋庄德
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