- 常压直流脉冲辅助射频放电起辉过程研究
- 2017年
- 采用组合电极结构产生常压等离子体射流,对直流(DC)脉冲辅助射频放电进行试验研究.在每个射频脉冲产生之前,引入一个微秒级DC脉冲放电,通过采集放电电流和电压曲线以及时间分辨放电图像,研究这种组合放电的电学特性及时空分布.结果表明,在射频放电脉冲中间引入微秒级DC脉冲放电之后,使射频放电脉冲起辉电压从3.86kV降低到1.61kV,提高了常压脉冲射频放电的稳定性,可为常压射频放电在工业上的连续化应用提供技术依据.
- 赵文亮郭颖任吉达张杰张菁石建军
- 关键词：射频放电
- 常压射频放电占空比对SiO_x薄膜形貌和成分的影响
- 2017年
- 采用常压射频等离子体放电技术,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)和Ar的混合气体为反应源,成功制备了SiO_x薄膜.通过测量放电的电流-电压曲线以及发射光谱,研究不同占空比对射频放电段放电特性的影响;利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)以及X射线光电子能谱(XPS)研究了不同占空比放电条件下沉积的SiO_x薄膜的表面形貌与化学成分.研究结果表明,占空比对射频放电段的放电特性影响不大,但是随着放电脉冲占空比的增加,薄膜表面变得不平滑,椭球形颗粒增多,薄膜中无机成分也相应增加.
- 任吉达张杰韩乾翰赵文亮郭颖石建军
- 关键词：脉冲调制占空比SIOX薄膜
- 常压脉冲辅助射频放电起辉过程的研究
- 常压等离子体射流相比于其它等离子体放电形式（电晕和火花放电），有节能环保、放电装置简易、化学活性强、等离子体温度低等优点，在医学、生物和材料都有广泛的应用，是目前低温常压等离子体研究领域的热点之一。常压等离子体射流的激发...
- 赵文亮
- 关键词：射频放电电学特性
- 文献传递
- 一种常压高压协同射频辉光射流放电的装置及其放电方法
- 本发明公开了一种常压高压协同射频辉光射流放电的装置及其放点方法。所述装置包括放电管体，放电管体上依次设有第一组电极、共同电极、第二组电极三组电极，第一组电极接高压源、共同电极接地，第二组电极接射频源。放电方法为：将反应气...
- 郭颖赵文亮张杰石建军张菁
- 文献传递
