石建军
- 作品数：68 被引量：39H指数：4
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- 相关领域：理学轻工技术与工程电气工程一般工业技术更多>>
- 常压氩气脉冲调制介质阻挡辉光放电特性的数值模拟研究
- 常压射频辉光放电产生的等离子体具有等离子体密度高、均匀稳定等特点,但同时产生的等离子体气体温度高,放电消耗功率高,特别是氩气常压射频辉光放电中放电强度较氦气中更高。最近提出了常压脉冲调制射频辉光放电一方面通过调制射频功率...
- 钱宇骏宋书通丁可张菁石建军
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- 一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法
- 本发明涉及一种大气压微放电等离子体处理材料表面的装置及方法，同轴套置金属棒状电极和介质阻挡管形成电极-介质管，并行排列若干这样的电极-介质管成一个电极阵列面，上电极阵列面接高压线，下电极阵列面接地，电极轴向间夹角为0-1...
- 孙立群李赛刁颖徐金洲石建军钟方川张菁
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- 一种脉冲偏压辅助等离子体高速处理有机薄膜的方法
- 本发明公开了一种脉冲偏压辅助等离子体高速处理有机薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：将PET膜置于去离子水中超声清洗15-30分钟；取出PET膜，再置于浓度大于等于99.7％的酒精中超声清洗10-20分钟；取出PET膜...
- 郭颖解艳凤黄晓江张迪石建军张菁
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- 大气压射频辉光放电与射频DBD放电的比较
- <正>采用实验对氩气大气压射频辉光放电与射频DBD放电进行了比较研究,实验中采用的大气压等离子体产生装置的主体是一对平行的铜的圆柱体电极,上下电极的直径均为20 mm,封闭在一个塑料的盒子中。实验采用信号发生器产生的正弦...
- 黄晓江张杰石建军
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- 一种双层相变材料、相变存储器单元及其制备方法
- 本发明涉及一种双层相变材料、相变存储器单元及其制备方法，所述材料为Ge‑Sb‑Te/Sb‑Te或Ge‑Te/Sb‑Te；其中Sb‑Te的化学通式为Sb<Sub>x</Sub>Te<Sub>100‑x</Sub>，满足20...
- 吴良才刘广宇宋志棠李涛石建军封松林
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- 常压直流脉冲辅助射频放电起辉过程研究
- 2017年
- 采用组合电极结构产生常压等离子体射流,对直流(DC)脉冲辅助射频放电进行试验研究.在每个射频脉冲产生之前,引入一个微秒级DC脉冲放电,通过采集放电电流和电压曲线以及时间分辨放电图像,研究这种组合放电的电学特性及时空分布.结果表明,在射频放电脉冲中间引入微秒级DC脉冲放电之后,使射频放电脉冲起辉电压从3.86kV降低到1.61kV,提高了常压脉冲射频放电的稳定性,可为常压射频放电在工业上的连续化应用提供技术依据.
- 赵文亮郭颖任吉达张杰张菁石建军
- 关键词：射频放电
- 常压射频放电占空比对SiO_x薄膜形貌和成分的影响
- 2017年
- 采用常压射频等离子体放电技术,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)和Ar的混合气体为反应源,成功制备了SiO_x薄膜.通过测量放电的电流-电压曲线以及发射光谱,研究不同占空比对射频放电段放电特性的影响;利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)以及X射线光电子能谱(XPS)研究了不同占空比放电条件下沉积的SiO_x薄膜的表面形貌与化学成分.研究结果表明,占空比对射频放电段的放电特性影响不大,但是随着放电脉冲占空比的增加,薄膜表面变得不平滑,椭球形颗粒增多,薄膜中无机成分也相应增加.
- 任吉达张杰韩乾翰赵文亮郭颖石建军
- 关键词：脉冲调制占空比SIOX薄膜
- 大气压脉冲放电辅助射频辉光放电段起辉过程
- 2018年
- 在大气压脉冲调制射频辉光放电的两个射频放电段之间引入脉冲放电,研究脉冲放电对射频放电段的起辉动力学过程和稳态放电特性的影响。通过试验测量时间分辨的放电图像,获得了脉冲放电和射频放电段的放电时空演变过程,发现脉冲放电电流峰值从0.4 A增加到0.6 A时,射频放电段的起辉时间从0.8μs降低到0.5μs,而放电空间分布也经历从双峰形到钟形再到双峰形的动力学演变过程。射频放电段达到稳态放电后的电流和电压特性也说明了脉冲放电有助于提高射频放电段稳态放电强度。
- 申亚军郭颖韩乾翰王晓东石建军
- 常压射频等离子体沉积TiO2纳米颗粒膜的空间均匀性被引量：3
- 2018年
- 常压等离子体增强化学气相沉积(AP-PECVD)薄膜的均匀性是AP-PECVD技术成功应用的关键问题之一。为此,通过基片的微位移实现了TiO_2纳米颗粒薄膜的连续沉积,同时研究了基片的不同移动方式对沉积薄膜的均匀性、表面形貌、结晶结构的影响。研究结果表明:相比单向移动沉积的薄膜,来回移动沉积的薄膜均匀性会得到提高,沉积速率降低;单向移动沉积的薄膜为锐钛矿晶型,而来回移动沉积的薄膜为锐钛矿和金红石混晶结构,且随功率密度的提高,混晶结构中金红石含量提高。由紫外可见吸收光谱分析可知,相比锐钛矿单晶结构,混晶结构的TiO_2薄膜在紫外光区的吸收光谱宽度发生了明显的增宽和红移现象,且金红石含量越高,此现象越明显。根据Kubelka-Munk公式求取TiO_2薄膜的光学带隙可知,锐钛矿和金红石混晶结构会引起能带的错列分布,从而导致光学带隙降低。
- 李灵均戴林君徐雨SIDDIG Eashara. A.A.丁可黄晓江李惠石建军张菁
- 脉冲调制占空比对常压射频辉光放电段特性影响的数值模拟
- 2018年
- 射频放电段的起辉特性决定了常压脉冲调制射频辉光放电的放电特性和稳定性,通过建立常压氦气脉冲调制射频辉光放电的一维自洽流体数值模型,研究了射频放电段的放电时空演化过程,着重讨论了调制脉冲占空比对射频放电段的起辉过程和稳定放电特性的影响。当射频放电电压保持在680 V不变且占空比小于18.40%条件下,电子密度的空间分布表现为主等离子体均匀分布,射频放电段工作在起辉阶段;随着占空比的增长,射频放电段中的鞘层结构得到增强,在占空比大于18.4 0%条件下,电子密度的空间分布表现为电极两侧增强的双峰分布的情况,放电达到稳定状态。电子平均能量和电场强度的空间分布随占空比的变化规律,也揭示了射频放电段从起辉阶段到稳定放电状态的转变过程。研究结果为常压脉冲调制射频辉光放电的放电机制和稳定性控制提供了理论依据。
- 李慎郭颖宫云舒张菁石建军
- 关键词：占空比
