杨扬
- 作品数：13 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金深圳市基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程金属学及工艺电子电信更多>>
- 一种植入式芯片的封装结构及其制备方法
- 本发明提供了一种植入式芯片的封装结构及其制备方法。所述植入式芯片的封装结构，包括基底、以及贯穿所述基底的多个通孔，所述基底表面、所述通孔壁面均设置有金刚石层，所述金刚石层包覆的所述通孔内设置有电极引线，所述电极引线的上下...
- 杨扬唐永炳李刚
- 文献传递
- 金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用
- 本发明提供了一种金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用。本发明金刚石纳米针阵列复合材料包括衬底层和在所述衬底层表面形成的金刚石纳米针阵列，且在所述金刚石纳米针阵列中的金刚石纳米针表面生长有三维石墨烯层。本发明金刚石纳...
- 杨扬张文军唐永炳
- 文献传递
- 面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究
- 2017年
- 针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘结构设计方法。基片托盘中间采用通孔结构,以避免籽晶底部与钼托盘的直接接触,在基片托盘与水冷台之间、籽晶和水冷台之间添加高导热材料氮化铝片,以保证外延沉积金刚石所需的均匀温度场环境。实验结果显示,利用新型基片托盘可以连续工作48 h,并获得生长厚度达1.66 mm的单晶金刚石,经过多次反复生长可实现厚度3 mm的高质量单晶金刚石制备。新型基片托盘能有效地抑制生长过程中石墨等大颗粒煤烟沉积引起的温度漂移现象,满足不同条件下金刚石单晶的同质外延生长,抑制籽晶边沿处多晶金刚石的生成,从而保证金刚石单晶在高功率密度下长时间稳定生长,获得高质量、大尺寸的化学气相沉积单晶金刚石。
- 谷继腾杨扬蒋春磊石磊牛卉卉唐永炳
- 关键词：单晶金刚石微波等离子体化学气相沉积高功率密度
- 硼掺杂对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜高择优取向生长的影响被引量：2
- 2017年
- 硼(B)掺杂金刚石薄膜因其优异的电化学性能在电化学传感领域获得了广泛的应用。文章采用微波等离子体化学气相沉积法制备硼掺杂金刚石薄膜,通过硼/碳(B/C)比例和工艺参数的调节,成功制备了具备(100)择优取向的金刚石薄膜,分析了B元素影响(100)晶面形成的机理,并进一步探讨了衬底温度、碳源浓度对金刚石薄膜微观形貌的影响。实验发现:B/C比例浓度对金刚石薄膜形貌的影响要大于温度、CH_4浓度等其他参数,尤其当B/C=4 000 ppm时,形成的四面体形状金刚石颗粒质量最好,晶棱清晰可见,晶面光滑平整;当B/C浓度恒定时,温度与CH_4浓度对金刚石薄膜的影响都是通过影响二次形核密度实现的。研究表明,通过适合的硼掺杂比例可以实现高择优取向金刚石薄膜电极的制备。
- 谷继腾杨扬唐永炳张文军
- 关键词：微观形貌
- 热处理工艺对硬质合金表面金刚石薄膜附着性能的影响被引量：1
- 2017年
- 文章针对提高硬质合金刀具金刚石涂层结合力问题,提出了一种热处理和酸处理相结合的预处理工艺,详细研究和分析了800~1 000℃范围内,热处理温度变化与硬质合金刀具表面形貌、金刚石涂层质量、涂层与刀具间附着力之间的关系。热处理工艺显著降低了生长过程中钴对金刚石涂层石墨化的催化作用,进一步提高了碳化钨颗粒的比表面积及金刚石二次形核密度,得到的金刚石涂层晶粒尺寸及压应力较小。过高的热处理温度虽然可以细化基体表面,增加基体与金刚石涂层之间的"机械锁合"作用,但预处理过程中残留在基体表面的深坑却不利于金刚石涂层附着力的提高,在外力的作用下容易在深坑附近产生微裂纹。实验结果显示,在氩气气氛中,900℃时热处理的硬质合金基体表面生长的金刚石涂层质量和附着力最佳。
- 谷继腾杨扬唐永炳
- 关键词：热处理温度金刚石涂层附着力
- 辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法
- 本发明适用于真空镀膜技术领域，公开了一种辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法。辐射式蒸发加热器包括加热室、蒸发皿和电源连接器件，蒸发皿连接于加热室或与加热室一体成型，加热室具有加热腔，加热腔与蒸发皿之间相隔开，...
- 杨扬杨映虎唐永炳
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- 夹持装置及作业机械
- 本发明涉及智能机械设备技术领域，公开了一种夹持装置及作业机械。本发明的夹持装置包括支撑组件、至少两组双稳态元件以及驱动组件。进一步的，双稳态元件具有固定端和夹持端，其中固定端均支撑于支撑组件，各夹持端之间配合设置。更进一...
- 李英田杨扬王松延
- 一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层及制备方法
- 本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层及制备方法。所述硬质合金衬底的金刚石/碳化硼复合涂层，包括沉积在硬质合金衬底上的碳化硼层，沉积在所述碳化硼层上的金刚石层，所述金刚石层为多晶金刚...
- 唐永炳李刚杨扬
- 文献传递
- 一种植入式芯片的封装结构及其制备方法
- 本发明提供了一种植入式芯片的封装结构及其制备方法。所述植入式芯片的封装结构，包括基底、以及贯穿所述基底的多个通孔，所述基底表面、所述通孔壁面均设置有金刚石层，所述金刚石层包覆的所述通孔内设置有电极引线，所述电极引线的上下...
- 杨扬唐永炳李刚
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- 一维纳米金刚石的制备、性质及应用被引量：2
- 2019年
- 一维金刚石纳米材料除了具有金刚石固有的物理化学性质以外,其形貌及尺寸的改变也使其拥有一些块体金刚石所没有的特性.如既硬又弹的力学性能、高的比表面积、尖端效应,以及通过掺杂和空位缺陷实现的独特性能等.近年来,一维纳米金刚石材料优异的性能让研究者产生了浓厚的兴趣,并促进了其合成方法及应用的发展.本文对一维纳米金刚石的制备方法进行了简要总结,介绍了一维纳米金刚石阵列在量子信息器件、药物传输、化学与生物传感器、高性能电极、分析传感器等诸多领域近期的研究进展,并讨论了一维纳米金刚石应用所面临的技术挑战和未来的研究方向.
- 杨扬张文军
- 关键词：金刚石一维纳米结构等离子体刻蚀力学性能
