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杨映虎
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2
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供职机构:
中国科学院深圳先进技术研究院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
唐永炳
中国科学院深圳先进技术研究院
杨扬
中国科学院深圳先进技术研究院
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作者
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杨映虎
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杨扬
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唐永炳
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2017
1篇
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辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法
本发明适用于真空镀膜技术领域,公开了一种辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法。辐射式蒸发加热器包括加热室、蒸发皿和电源连接器件,蒸发皿连接于加热室或与加热室一体成型,加热室具有加热腔,加热腔与蒸发皿之间相隔开,...
杨扬
杨映虎
唐永炳
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辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法
本发明适用于真空镀膜技术领域,公开了一种辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法。辐射式蒸发加热器包括加热室、蒸发皿和电源连接器件,蒸发皿连接于加热室或与加热室一体成型,加热室具有加热腔,加热腔与蒸发皿之间相隔开,...
杨扬
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