张文军
- 作品数:7 被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
- 发文基金:深圳市基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术化学工程金属学及工艺更多>>
- 一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法
- 本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件,包括硬质合金基体,以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅‑金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层,所述碳化硅‑金刚石梯度复合涂层中,沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层,碳化硅...
- 唐永炳王陶张文军
- 文献传递
- 硼掺杂对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜高择优取向生长的影响被引量:2
- 2017年
- 硼(B)掺杂金刚石薄膜因其优异的电化学性能在电化学传感领域获得了广泛的应用。文章采用微波等离子体化学气相沉积法制备硼掺杂金刚石薄膜,通过硼/碳(B/C)比例和工艺参数的调节,成功制备了具备(100)择优取向的金刚石薄膜,分析了B元素影响(100)晶面形成的机理,并进一步探讨了衬底温度、碳源浓度对金刚石薄膜微观形貌的影响。实验发现:B/C比例浓度对金刚石薄膜形貌的影响要大于温度、CH_4浓度等其他参数,尤其当B/C=4 000 ppm时,形成的四面体形状金刚石颗粒质量最好,晶棱清晰可见,晶面光滑平整;当B/C浓度恒定时,温度与CH_4浓度对金刚石薄膜的影响都是通过影响二次形核密度实现的。研究表明,通过适合的硼掺杂比例可以实现高择优取向金刚石薄膜电极的制备。
- 谷继腾杨扬唐永炳张文军
- 关键词:微观形貌
- 一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具及其制备方法
- 本发明提供了一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具,包括工具基体,以及设置在所述基体上的多层涂层结构,所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层,以及金刚石涂层,自基体表面向上,所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交...
- 唐永炳王陶张文军李振声
- 文献传递
- 金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用
- 本发明提供了一种金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用。本发明金刚石纳米针阵列复合材料包括衬底层和在所述衬底层表面形成的金刚石纳米针阵列,且在所述金刚石纳米针阵列中的金刚石纳米针表面生长有三维石墨烯层。本发明金刚石纳...
- 杨扬张文军唐永炳
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- 一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法
- 本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件,包括硬质合金基体,以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅‑金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层,所述碳化硅‑金刚石梯度复合涂层中,沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层,碳化硅...
- 唐永炳王陶张文军
- 金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用
- 本发明提供了一种金刚石纳米针阵列复合材料及其制备方法和应用。本发明金刚石纳米针阵列复合材料包括衬底层和在所述衬底层表面形成的金刚石纳米针阵列,且在所述金刚石纳米针阵列中的金刚石纳米针表面生长有三维石墨烯层。本发明金刚石纳...
- 杨扬张文军唐永炳
- 一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具及其制备方法
- 本发明提供了一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具,包括工具基体,以及设置在所述基体上的多层涂层结构,所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层,以及金刚石涂层,自基体表面向上,所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交...
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