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徐进

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇掩模
  • 1篇掩模板
  • 1篇设计方法
  • 1篇微细
  • 1篇功率器件
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体功率器...

机构

  • 2篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇徐进
  • 1篇袁卓颖
  • 1篇郎秀兰
  • 1篇王刚明

传媒

  • 1篇光电子技术
  • 1篇质量与可靠性

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
半导体功率器件的加速寿命试验研究被引量：3
2017年
长寿命、高可靠的半导体功率器件难以采用正常应力下的长期寿命试验进行寿命评估。从阿伦尼乌斯方程出发,研究了半导体功率器件加速寿命试验的基本原理和试验方法,并采用155℃高温应力加速研究某型脉冲功率管在85℃条件下的基本失效率。试验结果与可靠性指标预计相吻合,该型功率管随后在某大型有源相控阵雷达上进行了大批量应用,实际可靠性指标进一步验证了所设计的加速寿命试验的有效性。
冒媛媛徐进郎秀兰
关键词：半导体功率器件
微细直角图形失真及预补偿设计方法
2014年
提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的最终光刻制作结果。
徐进袁卓颖王刚明
关键词：掩模板
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