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王平
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杭州士兰集成电路有限公司
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
张常军
杭州士兰集成电路有限公司
周琼琼
杭州士兰集成电路有限公司
王英杰
杭州士兰集成电路有限公司
陈祖银
杭州士兰集成电路有限公司
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作者
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王平
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王英杰
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一种外延标记
本实用新型提供一种外延标记,包括:衬底;埋层光刻标记,形成在衬底上;第一消耗层,以埋层光刻标记为边界形成在衬底中;埋层氧化层,形成在第一消耗层上;第二消耗层,以埋层光刻标记为边界形成在衬底中且包围第一消耗层,其中,第一消...
杨彦涛
王平
苏兰娟
钟荣祥
袁志松
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双向对称ESD保护器件及其制造方法
本发明提供了一种双向对称ESD保护器件及其制造方法,该器件包括:第一掺杂类型的半导体衬底,所述半导体衬底作为集电区;第二掺杂类型的埋层,位于所述半导体衬底的正面,所述第二掺杂类型与第一掺杂类型相反;第二掺杂类型的外延层,...
王平
张常军
周琼琼
陈祖银
沟槽功率器件及制作方法
本发明揭示了一种沟槽功率器件及制作方法。本发明提供的一种沟槽功率器件及制作方法,通过在半导体衬底中形成第一沟槽,并将第一阻止层、填充材料层设置于所述第一沟槽中,形成静电隔离结构,进而实现了静电隔离结构设置在半导体衬底中,...
杨彦涛
王平
夏志平
李云飞
周艳春
高工作电压LED保护二极管及其结构和相应的制造方法
本发明提出一种高工作电压LED保护二极管,包括:PNP三极管、NPN三极管、P/N+反向二极管、P/N外延二极管和P/N+正向二极管模块;PNP三极管的发射极与P/N外延二极管的负极连接,PNP三极管的基极、P/N+反向...
王英杰
王平
韩健
崔建
徐敏杰
文献传递
低漏电的低压二极管芯片及其制备方法
本发明揭示了一种低漏电的低压二极管芯片,所述低漏电的低压二极管芯片包括:衬底;外延层,设置于所述衬底的上表面,所述外延层具有高压二极管区、三极管区以及用于隔绝所述高压二极管区和三极管区的隔离,所述高压二极管区具有第一极和...
张常军
王平
周琼琼
刘旺
李志栓
文献传递
高工作电压LED保护二极管及其结构
本实用新型提出一种高工作电压LED保护二极管,包括:PNP三极管、NPN三极管、P/N+反向二极管、P/N外延二极管和P/N+正向二极管模块;PNP三极管的发射极与P/N外延二极管的负极连接,PNP三极管的基极、P/N+...
王英杰
王平
韩健
崔建
徐敏杰
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一种在P+衬底上制备低压二极管芯片的方法及其结构
本发明公开了一种在P+衬底上制备低压二极管芯片的方法及结构,所述的方法包括如下步骤:在P+衬底上直接通过外延,形成P-外延层、通过注入硼,形成P+阱、P+阱退火、通过光刻和刻蚀形成N-分压环区域、N-分压环退火通过光刻和...
张常军
王平
周琼琼
文献传递
单向TVS器件结构
本实用新型提供了一种单向TVS器件结构,通过在凹槽内淀积第一氧化硅层、氮氧化硅层以及第二氧化硅层进行填充保护,避免传统的磷硅玻璃作填充时产生的厚度不均匀、空洞、易脱落等问题,其中第一氧化硅层和第二氧化硅层与其他膜层具有良...
张常军
王平
陈祖银
周琼琼
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LED保护二极管的结构及其制造方法
本发明的一种LED保护二极管芯片制造方法及其LED保护二极管芯片的结构和具有保护二极管芯片的保护装置,其步骤包括在P+衬底上进行N型外延、对N型外延表面进行氧化、光刻刻蚀、P+窗口进行P+硼扩散等步骤。LED保护二极管芯...
王英杰
王平
崔建
徐敏杰
文献传递
单芯片三轴各向异性磁阻传感器及其制造方法
本发明提供了一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器及其制造方法,该传感器包括:基底,其表面位于X方向和Y方向确定的平面内,基底的表面具有内凹的沟槽;磁通量集中器,位于沟槽的侧壁上;第一介质层,填充沟槽并覆盖磁通量集中器以及基底...
闻永祥
范伟宏
王平
刘琛
季锋
邹光祎
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