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陈祖银
作品数:
9
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供职机构:
杭州士兰集成电路有限公司
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
周琼琼
杭州士兰集成电路有限公司
张常军
杭州士兰集成电路有限公司
王平
杭州士兰集成电路有限公司
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保护器件
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ESD保护器...
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衬底
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氮化
1篇
氮化硅
1篇
掩蔽层
1篇
氧化硅
机构
6篇
杭州士兰集成...
作者
6篇
王平
6篇
张常军
6篇
周琼琼
6篇
陈祖银
年份
1篇
2019
1篇
2018
4篇
2015
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9
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双向对称ESD保护器件及其制造方法
本发明提供了一种双向对称ESD保护器件及其制造方法,该器件包括:第一掺杂类型的半导体衬底,所述半导体衬底作为集电区;第二掺杂类型的埋层,位于所述半导体衬底的正面,所述第二掺杂类型与第一掺杂类型相反;第二掺杂类型的外延层,...
王平
张常军
周琼琼
陈祖银
单向TVS器件结构及其制作方法
本发明提供了一种单向TVS器件结构及其制作方法,在凹槽内淀积第一氧化硅层、氮氧化硅层以及第二氧化硅层进行填充保护,避免传统的磷硅玻璃作填充时产生的厚度不均匀、空洞、易脱落等问题,其中第一氧化硅层和第二氧化硅层与其他膜层具...
张常军
王平
陈祖银
周琼琼
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双向对称ESD保护器件
本实用新型提供了一种双向对称ESD保护器件,该器件包括:第一掺杂类型的半导体衬底,所述半导体衬底作为集电区;第二掺杂类型的埋层,位于所述半导体衬底的正面,所述第二掺杂类型与第一掺杂类型相反;第二掺杂类型的外延层,覆盖在所...
王平
张常军
周琼琼
陈祖银
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双向TVS器件结构
本实用新型提供了一种双向TVS器件结构,在凹槽内淀积第一氧化硅层、氮氧化硅层以及第二氧化硅层进行填充保护,避免传统的磷硅玻璃作填充时产生的厚度不均匀、空洞、易脱落等问题,其中第一氧化硅层和第二氧化硅层与其他膜层具有良好的...
张常军
王平
陈祖银
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双向TVS器件结构及其制作方法
本发明提供了一种双向TVS器件结构及其制作方法,在凹槽内淀积第一氧化硅层、氮氧化硅层以及第二氧化硅层进行填充保护,避免传统的磷硅玻璃作填充时产生的厚度不均匀、空洞、易脱落等问题,其中第一氧化硅层和第二氧化硅层与其他膜层具...
张常军
王平
陈祖银
周琼琼
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单向TVS器件结构
本实用新型提供了一种单向TVS器件结构,通过在凹槽内淀积第一氧化硅层、氮氧化硅层以及第二氧化硅层进行填充保护,避免传统的磷硅玻璃作填充时产生的厚度不均匀、空洞、易脱落等问题,其中第一氧化硅层和第二氧化硅层与其他膜层具有良...
张常军
王平
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