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杨红伟
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张荣桂
中国电子科技集团公司第十三研究...
武喜龙
中国电子科技集团公司第十三研究...
张会肖
中国电子科技集团公司第十三研究...
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杨红伟
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半导体情报
年份
1篇
2001
共
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氮化镓研制中的退火技术
被引量:7
2001年
总结了 Ga N薄膜生长和器件制备中退火技术的应用情况 ,其中涉及退火工艺过程、作用机理以及由此产生的影响。
张会肖
武喜龙
杨红伟
张荣桂
关键词:
退火
半导体材料
氮化镓
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