您的位置： 专家智库 > >

李丽娟

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 6篇衬底
  • 5篇石英
  • 5篇反应管
  • 3篇工作温度
  • 2篇单晶
  • 2篇氧化亚铜
  • 2篇氧化镓
  • 2篇铜源
  • 2篇气体
  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 2篇镓
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇制备金属
  • 1篇石墨
  • 1篇石墨粉
  • 1篇金属
  • 1篇含氧气体
  • 1篇惰性气体

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇李晋闽
  • 6篇曾一平
  • 6篇王军喜
  • 6篇霍自强
  • 6篇李丽娟
  • 2篇尹玉华

年份

  • 2篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2014
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
氧化物膜的制备方法
一种氧化物膜的制备方法，包括如下步骤：步骤S1：将氧化物粉末和石墨粉混合，放入反应舟中，反应舟放入石英反应管内；步骤S2：将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤S3：向石英反应管和反应舟内中分别通入惰性...
王晓峰尹玉华李丽娟霍自强王军喜李晋闽曾一平
文献传递
一种氧化镓薄膜的制备方法
本发明公开了一种氧化镓薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1，将镓源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开镓源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应管...
王晓峰李丽娟霍自强王军喜李晋闽曾一平
文献传递
一种氧化亚铜单晶薄膜的制备方法
本发明公开了一种氧化亚铜薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1，将铜源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开铜源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应...
王晓峰李丽娟霍自强王军喜李晋闽曾一平
文献传递
一种氧化亚铜单晶薄膜的制备方法
本发明公开了一种氧化亚铜薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1，将铜源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开铜源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应...
王晓峰李丽娟霍自强王军喜李晋闽曾一平
文献传递
氧化物膜的制备方法
一种氧化物膜的制备方法，包括如下步骤：步骤S1：将氧化物粉末和石墨粉混合，放入反应舟中，反应舟放入石英反应管内；步骤S2：将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤S3：向石英反应管和反应舟内中分别通入惰性...
王晓峰尹玉华李丽娟霍自强王军喜李晋闽曾一平
文献传递
一种氧化镓薄膜的制备方法
本发明公开了一种氧化镓薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1，将镓源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开镓源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应管...
王晓峰李丽娟霍自强王军喜李晋闽曾一平
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0