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张永贵
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河北省机电一体化中试基地
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臧建民
河北省机电一体化中试基地
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一种气相生长金刚石膜的反应室
一种气相生长金刚石膜的反应室,包括等离子弧喷射装置、电机及导轨,等离子弧喷射装置装在盖体中部,盖体联接双层密封罩,双层密封罩上有观察窗,观察窗的顶端联接视镜,上述等离子弧喷射装置的外部、双层密封罩的夹层及观察窗的顶部均有...
张永贵
梁风荣
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唐才先
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文献传递
化学气相沉积金刚石膜的硬度
1999年
使用力驱动静态超微压痕测量仪器(Force Driven Static Measuring Ultra Micro- Inden-tation System )- UMIS- 2000 对由直流等离子体喷射法沉积的金刚石膜进行测量。结果显示金刚石膜的硬度不仅与晶体生长方向和晶粒大小有关,还与厚度有关。生长面和与基底接触面的金刚石膜硬度也有区别。后者被认为由于随机取向的微小晶粒占优势,其硬度比生长面略高。在所进行的测量中,硬度值在90GPa左右。
唐才先
罗廷礼
张永贵
臧建民
潘存海
石尔平
吕反修
唐伟中
钟国仿
M.Samandi
关键词:
CVD
金刚石膜
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