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领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子
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  • 1篇回水
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机构

  • 2篇河北省机电一...

作者

  • 2篇王志娜
  • 2篇李国华
  • 1篇唐才先
  • 1篇罗廷礼
  • 1篇吴晓波
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  • 1篇张永贵
  • 1篇杜素梅
  • 1篇梁风荣
  • 1篇臧建民

传媒

  • 1篇河北省科学院...

年份

  • 2篇2000
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
2000年
在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上,初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金刚石膜的影响。总结出了制备各种级别金刚石膜的一般规律。并以11μm/h的沉积速率制备了直径60mm、厚度均匀的高质量自支撑金刚石膜,热导率可达18W/cm·K,厚度为0.7mm,其热导率已接近天然金刚石。
王少岩郭辉孙振路吴晓波王志娜刁习刚刘秀军蔡云虹胡红彦姜龙李国华
关键词:CVD
一种气相生长金刚石膜的反应室
一种气相生长金刚石膜的反应室,包括等离子弧喷射装置、电机及导轨,等离子弧喷射装置装在盖体中部,盖体联接双层密封罩,双层密封罩上有观察窗,观察窗的顶端联接视镜,上述等离子弧喷射装置的外部、双层密封罩的夹层及观察窗的顶部均有...
张永贵梁风荣臧建民唐才先杜素梅王志娜罗廷礼李国华
文献传递
共1页<1>
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