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王志娜

作品数：4 被引量：8H指数：2
供职机构：河北省机电一体化中试基地更多>>
发文基金：河北省自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 3篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇金刚石膜
  • 2篇CVD
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子弧
  • 1篇衍射
  • 1篇视镜
  • 1篇水套
  • 1篇气相沉积
  • 1篇气相生长
  • 1篇热导率
  • 1篇热灯丝
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇回水
  • 1篇X射线
  • 1篇X射线衍射谱

机构

  • 4篇河北省机电一...

作者

  • 4篇王志娜
  • 2篇罗廷礼
  • 2篇吴晓波
  • 2篇蔡云虹
  • 2篇王少岩
  • 2篇李国华
  • 1篇唐才先
  • 1篇何奇宇
  • 1篇孙振路
  • 1篇张永贵
  • 1篇杜素梅
  • 1篇梁风荣
  • 1篇臧建民

传媒

  • 3篇河北省科学院...

年份

  • 2篇2000
  • 2篇1999
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
2000年
在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上，初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金刚石膜的影响。总结出了制备各种级别金刚石膜的一般规律。并以11μm／h的沉积速率制备了直径60mm、厚度均匀的高质量自支撑金刚石膜，热导率可达18W／cm·K，厚度为0．7mm，其热导率已接近天然金刚石。
王少岩郭辉孙振路吴晓波王志娜刁习刚刘秀军蔡云虹胡红彦姜龙李国华
关键词：CVD
一种气相生长金刚石膜的反应室
一种气相生长金刚石膜的反应室,包括等离子弧喷射装置、电机及导轨,等离子弧喷射装置装在盖体中部,盖体联接双层密封罩,双层密封罩上有观察窗,观察窗的顶端联接视镜,上述等离子弧喷射装置的外部、双层密封罩的夹层及观察窗的顶部均有...
张永贵梁风荣臧建民唐才先杜素梅王志娜罗廷礼李国华
文献传递
用金刚石膜的X射线衍射谱估算其热导率被引量：2
1999年
讨论直流电弧等离子体喷射化学气相沉积的金刚石膜其热导率和晶面取向间的关系。
罗廷礼何奇宇王志娜崔文秀蔡云虹刁习刚刘秀军
关键词：金刚石膜热导率X射线衍射谱
化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜的主要制备方法及应用被引量：6
1999年
介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法：热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。 Ｃ Ｖ Ｄ 金刚石膜的应用。
王少岩吴晓波王志娜刘秀军刁习刚姜龙
关键词：化学气相沉积金刚石薄膜CVD
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