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文献类型

  • 11篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 8篇电化学
  • 7篇电极
  • 6篇地震检波器
  • 6篇检波
  • 6篇检波器
  • 5篇加速度
  • 5篇加速度计
  • 4篇复合电极
  • 3篇单片
  • 3篇绝缘
  • 3篇间隔层
  • 2篇阳极
  • 2篇阴极
  • 2篇阴阳
  • 2篇密封
  • 2篇密封件
  • 2篇绝缘层
  • 2篇机械密封
  • 2篇集成式
  • 2篇封装

机构

  • 11篇中国科学院电...

作者

  • 11篇陈德勇
  • 11篇王军波
  • 11篇邓涛
  • 7篇陈健
  • 7篇李光磊
  • 7篇孙振源
  • 4篇王鹏
  • 4篇范云洁
  • 4篇何文涛
  • 3篇张正宇

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2013
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
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集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法,该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成,每层复合电极集成间隔层与电极层,电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道;该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造,不仅可以...
陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
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基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
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集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法,该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成,每层复合电极集成间隔层与电极层,电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道;该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造,不仅可以...
陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
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MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法
本发明提供了一种MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法,该电极芯片包括一个支撑基板、在该支撑基板的至少一个表面依次排列的N层电极层和位于相邻两个电极层之间的N?1层绝缘间隔层,M个电极层通孔(31)、M个绝缘间...
陈德勇孙振源王军波陈健邓涛李光磊
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电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法
本发明提供了一种基于集成式热敏电阻的电化学加速度计及将热敏电阻集成在电极中的方法,电化学加速度计包括热敏电阻和放大电路,热敏电阻集成在电极上,其阻值随电极温度变化而变化;放大电路根据热敏电阻的阻值,对输出电压进行补偿。本...
王军波邓涛陈德勇陈健孙振源李光磊
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单片复合敏感电极的制造方法、基于其的敏感器件
本发明公开了单片复合敏感电极的制造方法,还公开了基于该单片复合敏感电极的电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作,加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面,所述阳极面设有阳极,所述阴极面设有阴极。电化学加...
陈德勇邓涛王军波陈健李光磊孙振源
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单片复合敏感电极、其制造方法、基于其的敏感器件
本发明公开了单片复合敏感电极及其制造方法,还公开了基于该单片复合敏感电极的敏感电极器件和电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作,加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面,所述阳极面设有阳极,所述阴极面设...
陈德勇邓涛王军波陈健李光磊孙振源
基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
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共2页<12>
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