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邓涛
作品数:
11
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供职机构:
中国科学院电子学研究所
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相关领域:
电气工程
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合作作者
王军波
中国科学院电子学研究所
陈德勇
中国科学院电子学研究所
孙振源
中国科学院电子学研究所
李光磊
中国科学院电子学研究所
陈健
中国科学院电子学研究所
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11篇
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电气工程
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电化学
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检波
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集成式
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封装
机构
11篇
中国科学院电...
作者
11篇
陈德勇
11篇
王军波
11篇
邓涛
7篇
陈健
7篇
李光磊
7篇
孙振源
4篇
王鹏
4篇
范云洁
4篇
何文涛
3篇
张正宇
年份
1篇
2018
1篇
2017
4篇
2016
3篇
2015
2篇
2013
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波
邓涛
陈德勇
何文涛
范云洁
王鹏
文献传递
集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法,该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成,每层复合电极集成间隔层与电极层,电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道;该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造,不仅可以...
陈德勇
邓涛
王军波
陈健
张正宇
孙振源
李光磊
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波
邓涛
陈德勇
何文涛
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基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇
邓涛
王军波
何文涛
范云洁
王鹏
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集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法,该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成,每层复合电极集成间隔层与电极层,电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道;该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造,不仅可以...
陈德勇
邓涛
王军波
陈健
张正宇
孙振源
李光磊
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MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法
本发明提供了一种MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法,该电极芯片包括一个支撑基板、在该支撑基板的至少一个表面依次排列的N层电极层和位于相邻两个电极层之间的N?1层绝缘间隔层,M个电极层通孔(31)、M个绝缘间...
陈德勇
孙振源
王军波
陈健
邓涛
李光磊
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电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法
本发明提供了一种基于集成式热敏电阻的电化学加速度计及将热敏电阻集成在电极中的方法,电化学加速度计包括热敏电阻和放大电路,热敏电阻集成在电极上,其阻值随电极温度变化而变化;放大电路根据热敏电阻的阻值,对输出电压进行补偿。本...
王军波
邓涛
陈德勇
陈健
孙振源
李光磊
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单片复合敏感电极的制造方法、基于其的敏感器件
本发明公开了单片复合敏感电极的制造方法,还公开了基于该单片复合敏感电极的电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作,加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面,所述阳极面设有阳极,所述阴极面设有阴极。电化学加...
陈德勇
邓涛
王军波
陈健
李光磊
孙振源
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单片复合敏感电极、其制造方法、基于其的敏感器件
本发明公开了单片复合敏感电极及其制造方法,还公开了基于该单片复合敏感电极的敏感电极器件和电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作,加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面,所述阳极面设有阳极,所述阴极面设...
陈德勇
邓涛
王军波
陈健
李光磊
孙振源
基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
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