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李光磊
作品数:
16
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
天文地球
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合作作者
陈健
中国科学院电子学研究所
王军波
中国科学院电子学研究所
陈德勇
中国科学院电子学研究所
孙振源
中国科学院电子学研究所
陈连宏
中国科学院电子学研究所
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清华大学
作者
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陈德勇
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电化学微震检波器
本发明提供了一种电化学微震检波器,包括:惯性摆体,其内形成电解液空间,该电解液空间内充有电解液;敏感电极,固定于电解液空间的电解液中,用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号;信号处理电路,其输入端电性连接至敏感电极,用...
王军波
李光磊
陈德勇
陈健
孙振源
陈连宏
文献传递
电化学地震检波器敏感电极及其制备方法
本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极,包括:一支撑基板,所述支撑基板的材料为有机绝缘体,支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔;以及两个电极层,分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面,所述两个电极层中分别设置有至少一个...
陈德勇
孙振源
王军波
陈健
李光磊
陈连宏
基于COMSOL的电化学地震检波器频率特性数值仿真模型
被引量:1
2019年
提出了一种可以精确求解电化学地震检波器传递函数的数值仿真模型,并首次采用流固耦合物理场来将外界振动与内部电解质溶液的运动形态联系在一起。通过规范的实验方法,对涉及到的部分仿真参数进行实际测试,使得仿真模型与实际情况更加吻合,仿真结果中的幅频响应曲线与实测结果相关度达到了0. 97。基于该模型,讨论了电极上小孔个数对设备幅频响应曲线的影响,通过优化小孔个数,最终在未施加反馈的情况下,将工作带宽扩展至0. 14~100 Hz。
陈德勇
陈连宏
陈连宏
李光磊
王军波
李光磊
关键词:
数值仿真
频率特性
微机电系统
带宽
集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法,该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成,每层复合电极集成间隔层与电极层,电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道;该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造,不仅可以...
陈德勇
邓涛
王军波
陈健
张正宇
孙振源
李光磊
文献传递
电化学微震检波器
本发明提供了一种电化学微震检波器,包括:惯性摆体,其内形成电解液空间,该电解液空间内充有电解液;敏感电极,固定于电解液空间的电解液中,用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号;信号处理电路,其输入端电性连接至敏感电极,用...
王军波
李光磊
陈德勇
陈健
孙振源
陈连宏
文献传递
电化学地震检波器敏感电极及其制备方法
本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极,包括:一支撑基板,所述支撑基板的材料为有机绝缘体,支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔;以及两个电极层,分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面,所述两个电极层中分别设置有至少一个...
陈德勇
孙振源
王军波
陈健
李光磊
陈连宏
文献传递
集成式复合敏感电极及其制造方法
一种集成式复合敏感电极及其制造方法,该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成,每层复合电极集成间隔层与电极层,电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道;该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造,不仅可以...
陈德勇
邓涛
王军波
陈健
张正宇
孙振源
李光磊
文献传递
MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法
本发明提供了一种MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法,该电极芯片包括一个支撑基板、在该支撑基板的至少一个表面依次排列的N层电极层和位于相邻两个电极层之间的N?1层绝缘间隔层,M个电极层通孔(31)、M个绝缘间...
陈德勇
孙振源
王军波
陈健
邓涛
李光磊
文献传递
一体化三轴电化学地震检波器及其检测方法
本发明提供了一种一体化三轴电化学地震检波器,包括:外壳,其具有至少三个上下贯穿的流道;弹性膜,分别覆盖外壳的上、下端,与外壳一起形成一密闭的空间;敏感单元,分别设置在至少三个上下贯穿的流道中;电解质溶液,密封在由外壳、弹...
陈德勇
孙振源
陈连宏
李光磊
王军波
陈健
文献传递
电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法
本发明提供了一种基于集成式热敏电阻的电化学加速度计及将热敏电阻集成在电极中的方法,电化学加速度计包括热敏电阻和放大电路,热敏电阻集成在电极上,其阻值随电极温度变化而变化;放大电路根据热敏电阻的阻值,对输出电压进行补偿。本...
王军波
邓涛
陈德勇
陈健
孙振源
李光磊
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