陈健
- 作品数：93 被引量：19H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信天文地球医药卫生更多>>
- 差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）
- 2016年
- 谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上,对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果,对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为±46 Hz/kP,实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45Hz/kPa,边梁的实际灵敏度为-44Hz/kPa,差分输出的线性度高达0.999 999 9。
- 邢永豪谢波陈健陈德勇王军波
- 关键词：微机电系统谐振式压力传感器
- 电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法
- 本发明提供了一种基于集成式热敏电阻的电化学加速度计及将热敏电阻集成在电极中的方法，电化学加速度计包括热敏电阻和放大电路，热敏电阻集成在电极上，其阻值随电极温度变化而变化；放大电路根据热敏电阻的阻值，对输出电压进行补偿。本...
- 王军波邓涛陈德勇陈健孙振源李光磊
- 文献传递
- LC谐振式传感器的检测电路及检测方法
- 本发明提供了一种LC谐振式传感器检测电路，包括：基于FPGA的SoPC系统、脉冲发生器、发射线圈、读取线圈、模数转换器，基于FPGA的SoPC系统控制脉冲发生器经发射线圈产生激励信号，LC谐振式传感器吸收激励信号的能量感...
- 王军波魏秋旭陈德勇谢波王艳双陈健
- 文献传递
- 一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)被引量：1
- 2007年
- 为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响,优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器,分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点,并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1000Hz/gn,进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性.
- 陈健陈德勇王军波
- 关键词：微机械电子系统有限元模拟
- 双T形结构高通量检测膜电容、质电导率的装置及方法
- 一种检测细胞膜电容、细胞质电导率的装置及方法，该方法包括如下步骤：将细胞悬液加入所述微流控芯片的细胞流入通道，利用所述压力控制模块，在微流控芯片的细胞回收通道施加压力，使细胞在主压缩通道中穿行，依次通过前端辅压缩通道、后...
- 陈健张毅梁红雁陈德勇王军波
- 文献传递
- 单片复合敏感电极的制造方法、基于其的敏感器件
- 本发明公开了单片复合敏感电极的制造方法，还公开了基于该单片复合敏感电极的电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作，加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面，所述阳极面设有阳极，所述阴极面设有阴极。电化学加...
- 陈德勇邓涛王军波陈健李光磊孙振源
- 文献传递
- 基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器被引量：1
- 2018年
- 为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器。与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本。介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试。结果表明:提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级。
- 孙振源李光磊李光磊陈健陈连宏王军波
- 关键词：微机电系统高灵敏度
- 一种新颖的谐振式差分微加速度传感器的理论建模
- 为了提高灵敏度，提出一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器.分析该结构差分检测的原理，推导该设计的理论模型，包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导，得到待测加速度与输出固有频率偏移的关系。使...
- 陈健陈德勇王军波
- 关键词：微机械电子系统有限元模拟
- 一种三维细胞划痕芯片及其制备方法与应用
- 本发明提供一种三维细胞划痕芯片及其制备方法与应用。其中所述三维细胞划痕芯片包括基底和上下两侧开口的小室阵列：所述小室阵列固定于所述基底上使基底封闭小室阵列的其中一侧开口，形成多个单侧开口的三维小室；每个所述小室在基底一侧...
- 陈健卫元晨郝锐陈峰王军波陈德勇郭伟
- 集成式复合敏感电极及其制造方法
- 一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
- 陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
- 文献传递
