您的位置： 专家智库 > >

张治国

作品数：10 被引量：10H指数：2
供职机构：沈阳仪器仪表工艺研究所更多>>
发文基金：“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 4篇机械工程

主题

  • 8篇感器
  • 8篇传感
  • 8篇传感器
  • 4篇CAD
  • 3篇有限元
  • 3篇计算机
  • 3篇计算机辅助设...
  • 3篇辅助设计
  • 2篇电阻
  • 2篇压力传感器
  • 2篇力传感器
  • 2篇力敏传感器
  • 2篇扩散电阻
  • 2篇差压
  • 1篇电化学腐蚀
  • 1篇压力传感器设...
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻效应
  • 1篇应力
  • 1篇有限元法

机构

  • 10篇沈阳仪器仪表...

作者

  • 10篇张治国
  • 5篇唐慧
  • 4篇匡石
  • 2篇陈信琦
  • 1篇张洪泉
  • 1篇丁艳平
  • 1篇张纯棣
  • 1篇李妍君
  • 1篇冯冠平
  • 1篇章月洲
  • 1篇刘光恒
  • 1篇乔文华
  • 1篇赵志诚
  • 1篇季安
  • 1篇周明军
  • 1篇彭雨田
  • 1篇马以武
  • 1篇徐洪
  • 1篇曾艳丽
  • 1篇李颖

传媒

  • 4篇仪表技术与传...
  • 2篇第六届全国敏...
  • 1篇管道技术与设...
  • 1篇第八届敏感元...

年份

  • 3篇2003
  • 1篇2000
  • 4篇1999
  • 1篇1997
  • 1篇1996
共 10 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
传感器技术研究
赵志诚陈信琦章月洲徐洪李妍君徐淑霞马以武冯冠平彭雨田张洪泉周明军丁艳平张治国唐慧吴虹
1、项目所属技术领域：仪器仪表技术。2、主要内容：(1)对工业变送器用扩散硅压力传感器、OEM通用压力传感器、厚膜压力传感器、石英谐振式称重传感器、InSb霍尔元件、PN结温度传感器、厚膜铂电阻、α-Fe2O3可燃气体传...
关键词：
关键词：压力传感器传感器技术微机械加工可靠性
GS52型高压水射流清洗机泵头应力的有限元分析被引量：4
1996年
叙述了GS52型高压水射流清洗机泵头和改进泵头有限元计算的数学模型及计算结果，同时提出了作者的几点建议，仅供参考。
刘光恒曾艳丽张治国
关键词：有限元法数学模型
方型硅杯力敏器件计算机辅助设计被引量：3
1997年
介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的方法。根据方型硅杯形式的有限元分析结果，计算力敏器件的性能。给出了方型硅杯形式的应力和热应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度曲线。
张治国匡石
关键词：有限元力敏电阻CAD传感器力敏器件
扩散硅力敏器件力学模型的参数化实现
介绍了一种扩散硅力敏器件力学模型的参数化实现方法。采用这种方法已经实现了多种形式器件的参数化模型，并应用于力敏器件的计算机辅助设计，实用证明该方法简便、易行，可极大地提高建模的效率及准确性。
张治国
关键词：计算机辅助设计压阻效应
差压传感器
一种差压传感器，包括补偿板组件1、中间有芯片构成的传感器组件8，其特征是传感器组件8与环状基座7焊成一体，将传感器组件8的引线软带6从基座7侧壁孔引出，中心小仿形体9嵌于传感器组件8和基座7之间；两个中心膜片10焊在基座...
孙海玮刘沁唐慧季安张治国李颖
文献传递
四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用被引量：2
2000年
在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ,膜区厚度为 1 0 μm ,制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ,端点法非线性为 0 .5 %。
乔文华张纯棣张治国
关键词：电化学腐蚀微压传感器
扩散硅力敏传感器平面工艺CAD——制作扩散电阻的工艺参数设计被引量：1
1999年
扩散硅力敏传感器ＣＡＤ 的技术包括３ 大部分：传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ．平面工艺ＣＡＤ 是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建立起数学模型，再利用计算机进行数值计算，使传感器芯片平面工艺流程的实验过程移植到计算机上进行，通过对工艺参数仿真计算，实现了传感器平面工艺的ＣＡＤ技术。制作传感器扩散电阻需要多个平面工艺步骤，每个工艺步骤都需要确定几个工艺参数，而任意一个工艺参数的变化都将对器件的最终特性有影响。因此在设计传感器时，平面工艺的ＣＡＤ技术将起到重要作用。扩散硅力敏传感器平面工艺ＣＡＤ是基于ＩＣＥＣＲＥＭ 软件进行的。
匡石张治国唐慧
关键词：扩散电阻CAD力敏传感器扩散硅传感器
多功能集成差压敏感器件的研究
本文介绍的小型多功能集成差压传感器器件,采用CAD设计技术,专为工业智能差压变送器配套而设计的.利用4"的MEMS制造工艺技术,在面积3.5×4.0mm<'2>的单晶硅基片上,将扩散硅差压、静压、温度三种敏感元件集成为单...
唐慧郑东明张治国刘宏伟陈信琦
关键词：温度敏感元件
文献传递
扩散硅力敏传感器平面工艺CAD--制作扩散电阻的工艺参数设计
硅力敏传感器CAD的技术包括三大部分：(一)传感器平面工艺CAD。(二)传感器芯片结构CAD。(三)传感器结构CAD。平面工艺CAD是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建...
匡石张治国唐慧
关键词：传感器结构计算机辅助设计
CAD技术在压力传感器设计中的应用被引量：1
1999年
文中介绍了ＣＡＤ 技术在压力传感器设计中的具体应用。针对压力传感器的各个设计环节，提出了具体的实现方法。所组成的设计系统利用国内外先进的ＣＡＤ 技术，综合考虑工作站的高性能和微机的易用性，使得组成的设计系统极为灵活，使用方便，适用范围广。
张治国傅唯大匡石王桂云
关键词：硅压力传感器有限元CAD传感器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0