唐慧
- 作品数：14 被引量：13H指数：2
- 供职机构：沈阳仪器仪表工艺研究所更多>>
- 发文基金：“九五”国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 可见光光敏元件的光谱修正被引量：1
- 1990年
- 为了使硅光电池的光谱曲线与人眼的视觉函数相近,必须对光电池的光谱曲线进行修正。本文叙述了使用单层色玻璃对硅光电池光谱曲线进行修正的方法。
- 季安唐慧乔文华
- 关键词：可见光光敏元件光谱硅光电池
- 多边形三杯双岛复合压力传感器
- 一种多边形三杯双岛复合压力传感器，它包括基体，用于测量差压的敏感电阻，用于测量静压的敏感电阻，温度敏感电阻和膜片，在基体上设置一个多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽，用于测量静压的敏感电阻布置在方形凹槽的中线和另外一方形凹...
- 庞世信唐慧徐淑霞刘沁吕忠刚
- 文献传递
- 压力传感器低漂移化研究
- 唐慧
- 关键词：压力传感器硅膜压敏电阻器漂移
- 影响扩散硅压力传感器稳定性的因素及解决方法被引量：2
- 2000年
- 本文分析了影响扩散硅压力传感器稳定性产生的原理,并依据半导体理论,在工艺上采取了相应的措施。大大改善的传感器的稳定性,使我们生产的传感器稳定性达到国外同类产品的先进水平。
- 唐慧季安章学群孙艳宾
- 关键词：压力传感器稳定性扩散硅
- 传感器技术研究
- 赵志诚陈信琦章月洲徐洪李妍君徐淑霞马以武冯冠平彭雨田张洪泉周明军丁艳平张治国唐慧吴虹
- 1、项目所属技术领域：仪器仪表技术。2、主要内容：(1)对工业变送器用扩散硅压力传感器、OEM通用压力传感器、厚膜压力传感器、石英谐振式称重传感器、InSb霍尔元件、PN结温度传感器、厚膜铂电阻、α-Fe2O3可燃气体传...
- 关键词：
- 关键词：压力传感器传感器技术微机械加工可靠性
- 多功能压力传感器与现场总线技术被引量：7
- 2000年
- 传统的差压传感器一般由差压敏感元件和温度补偿网络构成 ,输出信息量少。非线性及温度误差的补偿方法通常采用无源网络对传感器的两个端点进行补偿 ,比较粗糙 ,补偿精度较低 ,对静压带来的误差无法补偿。本文介绍了HART协议智能扩散硅差压变送器的组成原理及应用 ,阐述了扩散硅多功能传感器的特点 。
- 张卫徐洪刘晓昌唐慧张永庆
- 关键词：温度补偿差压变送器压力传感器现场总线
- 新型差压传感器的研制
- 提出了一种适合小型差压变送器使用的体积小，价格廉的新型差压传感器。并对它的工作原理、结构设计和相关的工艺技术进行了探讨。同时结合研究工作给出了零点，灵敏度补偿网络和主要技术指标。介绍了其良好的市场前景和广阔的应用领域。
- 刘沁张春晓唐慧刘妍
- 关键词：差压传感器扩散硅过载保护
- 差压传感器
- 一种差压传感器，包括补偿板组件1、中间有芯片构成的传感器组件8，其特征是传感器组件8与环状基座7焊成一体，将传感器组件8的引线软带6从基座7侧壁孔引出，中心小仿形体9嵌于传感器组件8和基座7之间；两个中心膜片10焊在基座...
- 孙海玮刘沁唐慧季安张治国李颖
- 文献传递
- 扩散硅力敏传感器平面工艺CAD——制作扩散电阻的工艺参数设计被引量：1
- 1999年
- 扩散硅力敏传感器ＣＡＤ 的技术包括３ 大部分：传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ．平面工艺ＣＡＤ 是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建立起数学模型，再利用计算机进行数值计算，使传感器芯片平面工艺流程的实验过程移植到计算机上进行，通过对工艺参数仿真计算，实现了传感器平面工艺的ＣＡＤ技术。制作传感器扩散电阻需要多个平面工艺步骤，每个工艺步骤都需要确定几个工艺参数，而任意一个工艺参数的变化都将对器件的最终特性有影响。因此在设计传感器时，平面工艺的ＣＡＤ技术将起到重要作用。扩散硅力敏传感器平面工艺ＣＡＤ是基于ＩＣＥＣＲＥＭ 软件进行的。
- 匡石张治国唐慧
- 关键词：扩散电阻CAD力敏传感器扩散硅传感器
- 多功能集成差压敏感器件的研究
- 本文介绍的小型多功能集成差压传感器器件,采用CAD设计技术,专为工业智能差压变送器配套而设计的.利用4"的MEMS制造工艺技术,在面积3.5×4.0mm<'2>的单晶硅基片上,将扩散硅差压、静压、温度三种敏感元件集成为单...
- 唐慧郑东明张治国刘宏伟陈信琦
- 关键词：温度敏感元件
- 文献传递
