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胡淘

作品数：12 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 7篇光刻
  • 7篇光刻机
  • 3篇套刻
  • 3篇投影光刻
  • 3篇投影光刻机
  • 2篇电容传感器
  • 2篇动镜
  • 2篇压电陶瓷驱动
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇止推
  • 2篇止推轴承
  • 2篇置环
  • 2篇柔性铰链
  • 2篇生物芯片
  • 2篇速度环
  • 2篇速度控制
  • 2篇速度控制器
  • 2篇套刻精度
  • 2篇轴承

机构

  • 12篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 12篇胡淘
  • 11篇胡松
  • 8篇徐文祥
  • 8篇邢薇
  • 4篇陈磊
  • 3篇赵立新
  • 2篇马平
  • 2篇刘俊伯
  • 1篇唐燕
  • 1篇邓钦元
  • 1篇周毅
  • 1篇冯金花
  • 1篇杜婧

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2020
  • 2篇2016
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 3篇2011
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机工件台同步运动误差校正控制系统
本发明是一种光刻机工件台同步运动误差校正控制系统，该系统包括工控机、硅片台、掩模台、第一位置传感器、第二位置传感器、第一检测单元、第二检测单元、第一运算单元、第二运算单元、第三运算单元和第四运算单元，主要用于步进扫描光刻...
马平胡松陈磊胡淘
用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法
本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法，包括：扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动，Y向电机在Y轴向上做间歇步进，生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台在X轴向移动至扫描区域内，对生物芯片...
胡淘胡松邢薇徐文祥
文献传递
一种动镜微调整方法
本发明是一种动镜微调整方法，它包括三个压电陶瓷驱动点，三个电容传感器探测点，动镜的解耦算法；该方法根据压电陶瓷驱动点的位置，电容传感器探测点的位置，经过推导得出动镜的解耦算法，从而给出驱动点应该执行的位移，以达到控制动镜...
胡淘胡松邢薇徐文祥
一种投影光刻机的硅片台对准机构
本发明是一种投影光刻机的硅片台对准机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副、光孔、传动杆、楔块、导轨副、导轨；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，楔块位于导轨上并与调节螺栓前端接触...
胡淘胡松邢薇徐文祥
文献传递
基于复合光栅的大范围高精度对准方法被引量：3
2016年
提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对准;通过直接求取大周期光栅位置实现粗对准。由于两个方向上的光栅相互正交,傅里叶变换提取频谱时将不受影响。分别分析小周期光栅的叠栅条纹相位分布,以及大周期光栅的强度分布,实现大范围、高精度对准。推导了基片、掩模相对移动量与复合光栅变化之间的关系。通过计算机模拟对该对准方法进行了仿真分析,考虑噪声的基础上,对准精度可以达到16.5 nm;通过实验系统对该对准方法进行了验证与分析,对准精度可以达到30.19 nm。
司新春唐燕胡松刘俊伯程依光胡淘周毅邓钦元
关键词：光栅傅里叶光学叠栅条纹
一种非接触自动中心对准套刻投影光刻机
本发明公开了一种非接触自动中心对准套刻的投影光刻机。该投影光刻机主要基于多个民生领域对温度、压力、电容、应变等传感芯片的巨大需求，填补国内传感芯片专用投影光刻机的空白。该设备不仅能完成多图层套刻，还能完成图形与基片外缘的...
刘俊伯冯金花赵立新杜婧胡淘
文献传递
一种光刻机真空曝光装置
本发明是一种光刻机真空曝光装置，包括：掩模台、掩模板、硅片、密封胶圈、承片台、两个气嘴、柔性铰链、升降台、第一气嘴和真空气嘴；掩模板放在掩模台上，硅片放在承片台上，密封胶圈套在承片台的外侧，承片台通过柔性铰链与升降台相连...
邢薇胡松赵立新徐文祥胡淘陈磊
用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法
本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法，包括：扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动，Y向电机在Y轴向上做间歇步进，生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台在X轴向移动至扫描区域内，对生物芯片...
胡淘胡松邢薇徐文祥
文献传递
光刻机工件台同步运动误差校正控制系统
本发明是一种光刻机工件台同步运动误差校正控制系统，该系统包括工控机、硅片台、掩模台、第一位置传感器、第二位置传感器、第一检测单元、第二检测单元、第一运算单元、第二运算单元、第三运算单元和第四运算单元，主要用于步进扫描光刻...
马平胡松陈磊胡淘
文献传递
一种动镜微调整方法
本发明是一种动镜微调整方法，它包括三个压电陶瓷驱动点，三个电容传感器探测点，动镜的解耦算法；该方法根据压电陶瓷驱动点的位置，电容传感器探测点的位置，经过推导得出动镜的解耦算法，从而给出驱动点应该执行的位移，以达到控制动镜...
胡淘胡松邢薇徐文祥
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