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陈磊

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 16篇光刻
  • 11篇光刻机
  • 8篇工件台
  • 4篇掩模
  • 4篇光学
  • 4篇光学元件
  • 3篇动镜
  • 3篇锁紧
  • 3篇锁紧机构
  • 3篇台子
  • 3篇莫尔条纹
  • 2篇调节机构
  • 2篇动压
  • 2篇对准标记
  • 2篇压印
  • 2篇压印光刻
  • 2篇掩模板
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射极限
  • 2篇运动控制

机构

  • 24篇中国科学院
  • 1篇南京理工大学

作者

  • 24篇陈磊
  • 13篇胡松
  • 9篇赵立新
  • 6篇王建
  • 6篇马平
  • 4篇杨勇
  • 4篇徐文祥
  • 4篇邢薇
  • 4篇严伟
  • 4篇胡淘
  • 4篇朱咸昌
  • 3篇刘俊伯
  • 2篇杨春利
  • 2篇王淑蓉
  • 2篇李艳丽
  • 2篇唐燕
  • 2篇张满
  • 2篇邓钦元
  • 2篇周毅
  • 2篇朱江平

传媒

  • 1篇2009年江...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 3篇2020
  • 4篇2018
  • 2篇2016
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 4篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2009
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机工件台同步运动误差校正控制系统
本发明是一种光刻机工件台同步运动误差校正控制系统，该系统包括工控机、硅片台、掩模台、第一位置传感器、第二位置传感器、第一检测单元、第二检测单元、第一运算单元、第二运算单元、第三运算单元和第四运算单元，主要用于步进扫描光刻...
马平胡松陈磊胡淘
光子筛直写光刻机操作控制柜
1．本外观设计产品的名称：光子筛直写光刻机操作控制柜。;2．本外观设计产品的用途：激光直写光刻。;3．本外观设计的设计要点：在于产品的形状。;4．最能表明设计要点的图片或者照片：主视图。;5．本外观设计产品没有底座故省略...
杨春利严伟陈磊王淑蓉邢薇
文献传递
一种简易紫外纳米压印光刻装置
本发明公开了一种简易紫外纳米压印光刻装置，包括气动压印系统、紫外照明系统、气控系统、电控系统和壳体。气动压印系统通过球头紧锁螺钉定位夹紧及弹性薄膜均匀布压，保证了压印过程中图案转移的横纵向精准度；紫外照明系统通过紫外LE...
兰俊刘锡杨勇陈磊余斯洋龚健文赵立新胡松
一种控制和解析PI微动台的装置
本发明公开了一种控制和解析PI微动台的装置，该装置主要用于光刻机中纳米定位工件台子系统。上位机将网口数据作为PI微动台的控制输入，送往网口数据接收发送模块处理；该装置中的数据处理模块将网口数据中的ASCII Comman...
陈磊胡松马平严伟
文献传递
一种光刻机真空曝光装置
本发明是一种光刻机真空曝光装置，包括：掩模台、掩模板、硅片、密封胶圈、承片台、两个气嘴、柔性铰链、升降台、第一气嘴和真空气嘴；掩模板放在掩模台上，硅片放在承片台上，密封胶圈套在承片台的外侧，承片台通过柔性铰链与升降台相连...
邢薇胡松赵立新徐文祥胡淘陈磊
基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法
一种基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法。该方法以拼接光栅那作为掩模、工件台对准标记，以莫尔条纹相位信息为掩模-工件台对准偏差的载体，通过多像素点的相位提取直接计算出掩模和基片的对准偏差，从而实现掩模工件台的快...
程依光朱江平胡松赵立新陈磊刘俊伯
文献传递
一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机
本发明涉及一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机，属于光学微纳加工制造领域。所述紫外压印光刻机包括紫外照明系统(11)，压印模块机构(12)，XYZ三轴运动工件台系统(13)和电气控制系统(14)，能够实现从微米图形到纳米...
杨勇邓钦元胡松赵立新陈磊余斯洋唐燕龚健文周毅张满
文献传递
光刻机工件台同步运动误差校正控制系统
本发明是一种光刻机工件台同步运动误差校正控制系统，该系统包括工控机、硅片台、掩模台、第一位置传感器、第二位置传感器、第一检测单元、第二检测单元、第一运算单元、第二运算单元、第三运算单元和第四运算单元，主要用于步进扫描光刻...
马平胡松陈磊胡淘
文献传递
一种单点驱动的轴向调节机构
本发明公开了一种单点驱动的轴向调节机构。该轴向调节机构利用3层机构，通过单点调节即可实现被调元件的轴向调节：底层支撑座用于调节机构的固定和链接；中层为驱动机构，驱动机构上均匀分布3点弹性机构，将对驱动机构的单点驱动力传递...
朱咸昌王建陈磊
文献传递
一种水平精密调节及锁紧机构
本发明涉及一种水平精密调节及锁紧机构，可用于精密光学系统中光学元件的在线微调和锁紧固定。本发明设计一种双边对称的平行四边形铰链机构，利用平行四边形在驱动力作用下变形实现被调元件的调节。在同一推动调节板上设计两圈相同的调节...
朱咸昌王建陈磊
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