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吴奎

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：电子电信文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇纳米
  • 8篇刻蚀
  • 8篇二极管
  • 8篇发光
  • 7篇蓝宝
  • 7篇蓝宝石
  • 7篇发光二极管
  • 6篇氧化硅
  • 6篇二氧化硅
  • 6篇衬底
  • 5篇电子阻挡层
  • 5篇阻挡层
  • 5篇晶体
  • 4篇多量子阱
  • 3篇透明导电
  • 3篇自组装
  • 3篇外延片
  • 3篇纳米孔
  • 3篇光刻
  • 3篇光效

机构

  • 24篇中国科学院

作者

  • 24篇吴奎
  • 19篇王军喜
  • 18篇李晋闽
  • 17篇魏同波
  • 12篇张逸韵
  • 11篇闫建昌
  • 11篇刘喆
  • 8篇李璟
  • 6篇曾一平
  • 4篇杜成孝
  • 3篇蓝鼎
  • 3篇王家鑫
  • 3篇董鹏
  • 2篇郑怀文
  • 2篇严清峰
  • 2篇郑海洋
  • 2篇杨华
  • 1篇孙莉莉
  • 1篇丛培沛
  • 1篇曾建平

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 8篇2014
  • 4篇2013
  • 10篇2012
  • 2篇2011
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米柱发光二极管的制作方法
一种纳米柱发光二极管的制作方法，包括：在蓝宝石衬底上依次外延u-GaN层、n型GaN层、二氧化硅掩蔽层和聚苯乙烯球；采用加热和ICP的方法，刻蚀聚苯乙烯球；采用加温处理，使聚苯乙烯球在二氧化硅掩蔽层的表面有稍微塌陷，把点...
吴奎魏同波闫建昌刘喆王军喜张逸韵李璟李晋闽
氧化铟锡透明导电薄膜表面粗化方法
一种利用自组装薄膜作为掩膜刻蚀导电薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1：取一蓝宝石衬底，在该蓝宝石衬底上生长氮化物外延层；步骤2：在氮化物外延层上生长导电薄膜；步骤3：在导电薄膜上采用自组装的方法生长一层光子晶体薄膜，形成掩...
郑怀文张逸韵吴奎杨华李璟
一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的制备方法
一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的制备方法，包括：在蓝宝石衬底上淀积二氧化硅膜；在二氧化硅膜上，排布一单层紧密排列的自组装球；加热；刻蚀聚苯乙烯球，经过刻蚀后，聚苯乙烯球间距变大，球半径减小；再加热；在自组装球表面、间隙及二氧...
王家鑫吴奎曾一平
文献传递
一种具有六棱锥形p型氮化镓的发光二极管制备方法
本发明公开了一种具有六棱锥形p型氮化镓的发光二极管制备方法，其包括如下步骤：在发光二级管外延片上沉积掩蔽层；在所沉积掩蔽层上旋涂上光刻胶，并在光刻胶上铺单层密排自组装小球；进行曝光，去除所述单层密排自组装小球；进行显影获...
杜成孝魏同波吴奎王军喜李晋闽
文献传递
GaN基LED网孔电极的制作方法
一种GaN基LED网孔电极的制作方法，包括以下步骤：1)在GaN基外延片的表面蒸镀ITO膜；2)在ITO膜的表面排列一单层紧密排列的自组装球；3)加热，使自组装球与ITO膜结合牢固；4)采用ICP方法，刻蚀自组装球，经过...
王家鑫吴奎曾一平
纳米图形蓝宝石衬底上MOCVD外延生长AlN
AlGaN基的深紫外LED在消毒杀菌、生物医学、保密通信、紫外固化等领域具有广泛的应用前景。高质量、低位错密度的AlN模板是实现深紫外LED高效率发光的重要基础。为了降低A1N模板的位错密度,有研究组在微米级(2～5μm...
董鹏闫建昌吴奎曾建平丛培沛孙莉莉蓝鼎王军喜李晋闽
GaN基LED网孔电极的制作方法
一种GaN基LED网孔电极的制作方法，包括以下步骤：1)在GaN基外延片的表面蒸镀ITO膜；2)在ITO膜的表面排列一单层紧密排列的自组装球；3)加热，使自组装球与ITO膜结合牢固；4)采用ICP方法，刻蚀自组装球，经过...
王家鑫吴奎曾一平
文献传递
利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法
本发明公开了一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括如下步骤：选择表面平整的透明材料作为透明衬底；在透明衬底上铺上单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球刻蚀拉开，形成非密排小球；在非密排小...
杜成孝董鹏郑海洋魏同波严清峰吴奎张逸韵王军喜李晋闽
一种基于纳米柱二极管压电效应的应力传感器的制备方法
本发明公开了一种基于纳米柱二极管压电效应的应力传感器的制备方法，包括：在衬底上依次生长n型层、多量子阱有源区、p型层，并在所述p型层的上表面自组装一层纳米小球阵列；利用纳米小球阵列作为掩模版，刻蚀出LED结构，刻蚀深度接...
魏同波吴奎王军喜曾一平李晋闽
文献传递
具有空气桥结构发光二极管的制作方法
一种具有空气桥结构发光二极管的制作方法，包括：在蓝宝石衬底上淀积二氧化硅掩蔽层；在其上排列一单层紧密排列的自组装聚苯乙烯球；第一次加热和采用ICP刻蚀的方法，刻蚀自组装聚苯乙烯球；第二次加热和在自组装聚苯乙烯球的间隙、表...
吴奎魏同波闫建昌刘喆王军喜张逸韵李璟李晋闽
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