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刘帅洪
作品数:
9
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供职机构:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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相关领域:
电子电信
轻工技术与工程
金属学及工艺
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合作作者
朱海峰
中国航天科技集团公司第九研究院...
姜伟
中国航天科技集团公司第九研究院...
周海
中国航天科技集团公司第九研究院...
杜磊
西安电子科技大学技术物理学院
吴勇
西安电子科技大学技术物理学院
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金属学及工艺
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电子电信
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轻工技术与工...
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中国航天科技...
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朱海峰
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刘帅洪
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姜伟
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周海
年份
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2013
6篇
2012
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9
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一种适用于光刻工艺的平坦化方法
本发明公开了一种适用于光刻工艺的平坦化方法,采用旋涂法在基片表面涂覆一层介质层,介质层覆盖基片表面约20μm高的台阶并使基片表面形成一个平坦的表面,然后将基片经烘干后再使用低粘度系数光刻胶进行光刻,通过湿法腐蚀工艺制作出...
朱海峰
姜伟
刘帅洪
文献传递
一种在晶圆上真空钎焊制作无空洞高可靠凸点的工艺
本发明公开了一种在晶圆上真空钎焊制作无空洞高可靠凸点的工艺,采用真空钎焊炉进行焊接,焊接过程如下:首先抽真空,其次通入氮气,然后抽真空,再在氮气气氛中预加热至150℃±10℃,然后升温至210℃±10℃,再抽真空,最后水...
周海
朱海峰
姜伟
刘帅洪
文献传递
一种提高铅锡凸点与晶圆上铝焊盘间剪切强度的工艺
本发明公开了一种提高铅锡凸点与晶圆上铝焊盘间剪切强度的工艺,通过对晶圆表面的铝焊盘表面采用3%~5%的稀盐酸进行腐蚀清洗,然后再用去离子水冲洗干净,去除焊盘表面的氧化层,改善了漏印铅锡凸点与铝焊盘之间的粘附性,解决了铅锡...
朱海峰
周海
姜伟
刘帅洪
文献传递
一种在晶圆上漏印制作微米凸点的工艺
本发明公开了一种在晶圆上漏印制作微米凸点的工艺,包括如下步骤:画图制版、制作焊膏漏印板、对焊膏漏印板、印刷焊膏、检验、焊接、清洗和检测。本工艺技术采用漏印工艺方法,实现了直径150微米、高度200微米以及间距250微米的...
周海
朱海峰
姜伟
刘帅洪
文献传递
一种提高铅锡凸点与晶圆上铝焊盘间剪切强度的工艺
本发明公开了一种提高铅锡凸点与晶圆上铝焊盘间剪切强度的工艺,通过对晶圆表面的铝焊盘表面采用3%~5%的稀盐酸进行腐蚀清洗,然后再用去离子水冲洗干净,去除焊盘表面的氧化层,改善了漏印铅锡凸点与铝焊盘之间的粘附性,解决了铅锡...
朱海峰
周海
姜伟
刘帅洪
一种裸芯片老炼用引出装置及老炼方法
本发明公开了一种裸芯片老炼用引出装置及老炼方法,包括相匹配的凸点基板和定位基板,凸点基板上设有通过导带相连接的凸点和外接焊盘,凸点设置在凸点基板的内部,外接焊盘设置在凸点基板的四周,凸点基板上还设有第一固定孔和第一定位孔...
刘帅洪
朱海峰
田竹兰
文献传递
一种在晶圆上漏印制作微米凸点的工艺
本发明公开了一种在晶圆上漏印制作微米凸点的工艺,包括如下步骤:画图制版、制作焊膏漏印板、对焊膏漏印板、印刷焊膏、检验、焊接、清洗和检测。本工艺技术采用漏印工艺方法,实现了直径150微米、高度200微米以及间距250微米的...
周海
朱海峰
姜伟
刘帅洪
一种适用于光刻工艺的平坦化方法
本发明公开了一种适用于光刻工艺的平坦化方法,采用旋涂法在基片表面涂覆一层介质层,介质层覆盖基片表面约20μm高的台阶并使基片表面形成一个平坦的表面,然后将基片经烘干后再使用低粘度系数光刻胶进行光刻,通过湿法腐蚀工艺制作出...
朱海峰
姜伟
刘帅洪
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