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马向红

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：文化科学理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 3篇文化科学
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 5篇光刻
  • 5篇光刻机
  • 4篇光电
  • 3篇光学
  • 3篇感器
  • 3篇EUV
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇多路
  • 2篇多路复用
  • 2篇多项式
  • 2篇多项式拟合
  • 2篇多项式系数
  • 2篇预置
  • 2篇真空规
  • 2篇真空规管
  • 2篇三坐标
  • 2篇三坐标测量
  • 2篇探测器
  • 2篇同步采集

机构

  • 19篇中国科学院微...
  • 2篇中国科学院力...

作者

  • 19篇马向红
  • 10篇徐天伟
  • 9篇宗明成
  • 8篇王丹
  • 8篇武志鹏
  • 4篇黄有为
  • 2篇魏志国
  • 2篇马维
  • 1篇李世光

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2022
  • 2篇2021
  • 7篇2020
  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 2篇2012
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法
一种用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法，光电探测器包括：光电转换模块，用于将光刻机调焦调平系统产生的测量光转换为多路模拟电信号；同步模数转换模块，用于分别将光电转换模块输出的多路模拟电信号转换为多路数字电信号...
龚士彬谢冬冬武志鹏马向红王丹宗明成
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一种光谱椭偏测量装置及方法
本发明公开了一种光谱椭偏测量装置及方法，属于光学测量技术领域，本发明包括：光源，用于为膜层的厚度变化量的测量提供测量光束；光谱偏振消光器，用于接收测量光束，并输出含有第一厚度变化量的第一偏振消光光束和第二厚度变化量的第二...
宗明成黄有为徐天伟马向红
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一种用于精密运动控制的变结构抗积分饱和方法
一种用于精密运动控制的变结构抗积分饱和方法，包括：根据精密运动平台机械台体参考位置和实际位置之间的位置偏差，得到精密运动平台机械台体的控制量；将控制量经过预设饱和环节以及超前饱和环节，判断控制量是否处于即将积分饱和的状态...
武志鹏李璟谢冬冬齐月静马向红齐威
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用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机
一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质...
徐天伟王丹马向红谢冬冬齐威陈进新齐月静
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反射式光学系统及其装调测试方法
一种反射式光学系统及其装调测试方法，该反射式光学系统包括镜筒，其中，镜筒顶部设有主镜；镜筒底部设有次镜，次镜上设有进光孔和出光孔；镜筒侧壁上设有便于三坐标探针伸入的探针孔；镜筒上设有法兰面，作为三坐标测量的基准面。本发明...
王丹徐天伟宗明成马向红谢冬冬齐月静马敬孟璐璐
主动冷却结构热力响应近似计算方法与数值仿真设计
本文基于高温气体动力学、流体力学和热黏塑性力学理论,建立求解主动冷却结构热力响应工程问题的近似计算方法。针对镍基高温合金材料的主动冷却结构发展Bodner-Parton本构模型,应用ABAQUS有限元软件,对不同冷却液流...
马维马向红
关键词：镍基高温合金
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主动冷却结构热力响应近似计算方法与数值仿真设计
本文基于高温气体动力学、流体力学和热黏塑性力学理论,建立求解主动冷却结构热力响应工程问题的近似计算方法。针对镍基高温合金材料的主动冷却结构发展Bodner-Parton本构模型,应用ABAQUS有限元软件,对不同冷却液流...
马维马向红
关键词：镍基高温合金
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用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机
一种用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置包括：密封壳体；电路板，设置于所述密封壳体内部；光电转换器件，为真空兼容型，设置于所述密封壳体外部；连接件，贯穿所述密封壳体，...
谢冬冬徐天伟马向红王丹陈进新李璟丁敏侠
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一种气体分析装置及方法
本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于...
宗明成徐天伟黄有为马向红魏志国
一种新型光栅尺位移测量装置
本发明实施例提供的一种新型光栅尺位移测量装置，包括：操作台，所述操作台包括活动部件和固定部件；光学光栅，所述光学光栅固定连接在所述活动部件或所述固定部件上；数字相机，所述数字相机固定连接在所述固定部件或所述活动部件上；光...
马向红李世光宗明成孟璐璐谢冬冬武志鹏
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