您的位置： 专家智库 > >

陈明琪

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇专利

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 1篇等效
  • 1篇等效电路
  • 1篇电力
  • 1篇电力电子
  • 1篇电力电子器件
  • 1篇电路
  • 1篇电子器件
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇双极集成电路
  • 1篇抛光
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇金瓶
  • 1篇晶体管
  • 1篇刻蚀
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇集成电路
  • 1篇隔离层
  • 1篇隔离区

机构

  • 4篇中国科学院上...

作者

  • 4篇陈明琪
  • 2篇吴佛春
  • 1篇何德湛
  • 1篇徐元森
  • 1篇严金龙
  • 1篇陆锦兰

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇上海半导体

年份

  • 1篇2003
  • 1篇1991
  • 1篇1990
  • 1篇1987
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
DKM50-06巨型晶体管模块的研制
1990年
一、引言 巨型晶体管GTR模块是新一代电力电子器件,它对节能节材有着重要意义,因此它的发展正在越来越引起人们的重视。上海冶金所与上海整流器总厂联合研制成功了50A/600V的巨型晶体管模块。下面就该模块的结构、工艺流程、器件特点及器件应用等问题作一介绍。
陈明琪
关键词：GTR电力电子器件
抛光法U形槽隔离技术
本发明是抛光法U形槽隔离技术，属于集成电路元件间隔离层制造技术的改进。它采用反应离子刻蚀腐蚀隔离槽，然后用多晶硅填槽。本发明用化学或化学机械抛光法代替反应离子刻蚀来抛光削平表面多晶硅。使隔离工艺简单，便于控制，成本低，隔...
徐元森陈明琪吴佛春曹树洪严金龙陆锦兰何德淇谢明纲周弼芸
文献传递
超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路U型槽隔离多晶硅填槽工艺
1991年
谢明纲何德湛陈明琪吴佛春
关键词：储氢双极集成电路
DKM系列巨型晶体管模块的研制
陈明琪余苏宁朱俊卿
关键词：等效电路功率晶体管半导体工艺
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0