李国锋
- 作品数：5 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：安徽省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- Ⅰ桐油预聚物改性石油沥青的研究;Ⅱ硬脂酸盐对石蜡油的增稠作用与其结构的关系
- 石油沥青在国民经济中有着广泛而重要的应用,但它也具有冷脆热淌等缺点,所以常常用各种方法对其进行改性.本工作尝试用阳离子引发桐油预聚,并用桐油预聚物对AH-70号壳牌沥青、10<'＃>建筑沥青进行改性.将桐油用0.3﹪无水...
- 李国锋
- 关键词：沥青改性SBS红外光谱硬脂酸盐石蜡油粘度红外光谱
- 文献传递
- 微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析被引量：8
- 2006年
- 微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。
- 王翔赵钢郭锐李国锋黄文浩
- 关键词：微细加工LIGA
- 基于光电自准直仪的直线运动误差测量与分析被引量：8
- 2006年
- 通过对直线运动误差的描述,提出使用光电自准直仪对直线运动误差进行测量的方法,分析运用光电自准直仪测量直线运动误差的测量原理,并根据测量所得数据采用最小二乘法进行误差评定,结果表明该方法可用来测量直线运动误差。
- 曾肃伟李国锋王翔胡盛勇
- 关键词：光电自准直仪直线度节距法最小二乘法
- 微细电铸基础研究
- 微细加工技术是MEMS技术从设计到产品化的整个过程中的重要环节，是MEMS技术的关键和基础，因此微细加工技术已成为当前研究的热点。在众多的微细加工技术中，微细电铸作为非硅微器件的重要加工手段，受到越来越多的关注。
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- 李国锋
- 关键词：微细加工有限元方法
- 文献传递
- 微细电铸电流密度的有限元分析被引量：11
- 2007年
- 微细电铸过程中,阴极表面的电流密度分布直接影响沉积层的质量。通过对电沉积基本原理的分析,得到了电流密度及其分布对电沉积过程和沉积层质量的影响关系,结果表明,阴极表面金属层的沉积速率与电流密度成正比,沉积层厚度分布与电流密度分布一致。重点利用有限元方法对电沉积系统中电流密度进行了计算,对于不同形状和不同导电化处理方法的微结构,计算结果表明,在导电基底上制作微结构模型以有利于电沉积的结晶;设计用于微细电铸工艺的微结构时,应尽量避免侧壁与基板为锐角的结构,应选取较小的深宽比。从而为基于微细电铸工艺微结构设计的优化提供了基础。
- 李国锋王翔何冀军朱学林黄文浩
- 关键词：有限元法微结构
