郭锐
- 作品数：20 被引量：48H指数：6
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 超衍射相位板设计
- 2007年
- 对超衍射理论进行了研究和分析,通过利用优化算法设计了对应于横向、纵向,特别是三维超衍射的3种二元相位元件;模拟结果表明在飞秒激光微加工系统中,考虑双光子效应,这种相位元件的超衍射性能尤为理想.讨论了光源的光谱范围对相位元件超衍射效果的影响,结果表明当光谱较窄时,超衍射性能几乎与使用单波长光源时一样.所设计的超衍射相位元件可以应用于飞秒激光加工系统.
- 谭又华肖诗洲郭锐王翔黄文浩
- 关键词：激光微加工优化算法压缩比
- 复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
- 利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工。本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能。在优化工艺参数的基...
- 袁大军蒋中伟郭锐黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 文献传递
- 双光子三维微细加工的进展被引量：11
- 2004年
- 介绍了双光子微细加工的原理及特点 ,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展 .同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果 .
- 袁大军蒋中伟徐藻郭锐王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发飞秒激光微细加工激光加工
- 支持推测并行化的可扩展事务存储体系结构设计与性能评价
- 片上多核作为当今处理器设计的主流技术，依赖多线程应用来充分发挥性能优势。但是传统的并行编程在编程效率与正确性方面却存在问题，严重制约了对多核平台上大量计算资源的利用。事务存储与线程级推测技术分别从显式并行编程的同步与串行...
- 郭锐
- 关键词：处理器
- 文献传递
- 复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
- 利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工.本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能.在优化工艺参数的基...
- 袁大军蒋中伟郭锐黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 文献传递
- 飞秒激光双光子复杂结构的微细加工被引量：6
- 2004年
- 阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。
- 袁大军蒋中伟郭锐徐藻王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 双光子三维微细加工的分辨率研究被引量：7
- 2004年
- 为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因。根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数。最后给出了部分微器件的成型结果。
- 蒋中伟袁大军郭锐徐藻王翔夏安东黄文浩
- 关键词：双光子激发
- 基于飞秒激光的双光子微纳加工基础技术与装置的研究
- 黄文浩王翔褚家如郭锐宋延林
- 本成果在国家自然科学基金支持下，完成了具有自主知识产权的基于飞秒激光的双光子微纳加工的硬件平台和系统软件研发，集成了一套面向高分子材料的飞秒激光微加工、原位观测、光驱动、微装配多功能实验平台，系统软件是基于AutoCAD...
- 关键词：
- 关键词：飞秒激光双光子微纳加工
- 微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析被引量：8
- 2006年
- 微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。
- 王翔赵钢郭锐李国锋黄文浩
- 关键词：微细加工LIGA
- 双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响
- 2008年
- 飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD/CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法,它采用单点扫描累积成型,由点成线,由线成面进行加工.要得到精细的三维微器件,不仅需要高加工分辨率,还须选用合适的扫描步距.我们采用不同重复率工艺参数进行实验,并对得到的表面质量进行了分析,优化了微器件加工的重复率参数.还基于自由基浓度理论和曝光等效性原理,对重复率影响表面质量进行了仿真.加工系统采用飞秒激光光源:脉宽为80fs,中心波长为800nm,重复频率为80MHz,输出功率为400mW;使用数值孔径(NA=1.25)浸油物镜聚焦;三维扫描使用PZT移动台;材料是新型聚丙烯类S-3负性光刻胶.实验中采用步距0.1,0.2,0.3,0.4μm得到不同平面,并测得其表面粗糙度,分析了重复率对微器件表面质量的影响.
- 郭锐肖诗洲刘剑锋黄文浩
- 关键词：双光子激发重复率粗糙度飞秒激光
