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卢维美

作品数：9 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 7篇电子电信
  • 2篇机械工程

主题

  • 5篇电子束曝光
  • 4篇曝光机
  • 3篇电子束曝光机
  • 2篇电子束
  • 2篇激光
  • 2篇IC
  • 1篇带宽
  • 1篇电路
  • 1篇电子束曝光技...
  • 1篇双频
  • 1篇伺服
  • 1篇伺服轴
  • 1篇图形生成系统
  • 1篇偏转放大器
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子技术
  • 1篇微米
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇微细加工技术

机构

  • 9篇中国科学院

作者

  • 9篇卢维美
  • 2篇唐晖
  • 2篇薛虹
  • 1篇张今朝
  • 1篇潭敏
  • 1篇王启祥
  • 1篇陈志琪
  • 1篇王岩红
  • 1篇张福安
  • 1篇王理明
  • 1篇顾文琪
  • 1篇安秉谦

传媒

  • 4篇电子工业专用...
  • 2篇电工电能新技...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇第二届全国电...

年份

  • 1篇2000
  • 2篇1999
  • 1篇1998
  • 2篇1996
  • 1篇1991
  • 1篇1990
  • 1篇1989
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
集成光栅器件与微细加工技术
1989年
集成光栅器件是光集成电路(OIC)和光电子集成电路(OEIC)中的重要功能器件,真有波导材料中光波长量级的微细周期结构,其制作技术要求极为苛刻,本文侧重介绍在集成光栅器件制备中的全息光刻、电子束和离子束等微细加工技术。
卢维美
关键词：微细加工技术
EeBES—40型电子束曝光机的图形生成系统
1996年
介绍了美国瓦里安公司１９７９年研制的一种生产型电子束曝光机的光栅扫描方式，以及光栅扫描作图的图形生成系统和该系统的主要组成部件。
卢维美
关键词：电子束曝光机光栅扫描带宽位图
激光定位工件台长度测量的有理化电路
1991年
在激光干涉测量的数据处理中,常用迭代法对测量数据进行有理化(指小数有理化),本文讨论迭代参数的设计,并介绍一种用于电子束曝光机双频激光定位工件台中长度测量的有理化电路。
卢维美
关键词：电路工作台
双频激光测量系统及其在IC加工设备中的应用
1990年
本文介绍美国HP公司生产的双频激光测量系统以及在IC加工设备中的应用,并对采用该测量系统时应注意的问题进行讨论。
卢维美
关键词：激光测量系统IC双频
0.1微米电子束曝光实验装置的研制
顾文琪张福安王理明薛虹潭敏唐晖陈志琪安秉谦张今朝王启祥卢维美王岩红
“0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中，以电子束...
关键词：
关键词：电子束曝光机光刻技术
高精度激光干涉仪定位系统被引量：1
1999年
ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式，分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响，介绍控制器的调试方法，以及采用ＨＰ－３５６２Ａ动态信号分析仪，可实现伺服轴板的快速调试，给出闭环位置控制系统的控制程序。
卢维美
关键词：激光干涉测量激光干涉仪
Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术
1996年
本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空。同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。
晁阳左云芝卢维美
关键词：电子束曝光故障诊断
电子束纳米加工技术研究现状被引量：9
1998年
纳米科学技术是８０年代后期发展起来面向２１世纪的高新技术，纳米加工技术是制造量子微结构的主导技术。电子束纳米加工推动着微细加工技术的研究向着分子、原子量级的纳米层次发展。本文重点介绍电子束纳米曝光技术的研究现状及发展前景。
卢维美
关键词：电子束曝光技术微电子技术IC
高性能偏转放大器的研制
介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描频率。
唐晖卢维美薛虹
关键词：电子束曝光机偏转放大器
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