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顾炯

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:信息产业部更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇砷化镓
  • 1篇砷化镓场效应...
  • 1篇砷化镓晶体
  • 1篇砷化镓晶体管
  • 1篇通信
  • 1篇微波通信
  • 1篇晶体管
  • 1篇功率
  • 1篇C波段
  • 1篇场效应
  • 1篇场效应晶体管

机构

  • 1篇信息产业部

作者

  • 1篇陈克金
  • 1篇傅炜
  • 1篇李祖华
  • 1篇盛文伟
  • 1篇顾炯

年份

  • 1篇2002
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
C波段8W、16W功率砷化镓场效应晶体管
陈克金盛文伟顾炯傅炜李祖华
该成果研制过程突破了下列创新工艺技术:用全离子注入技术,在Φ50毫米的半绝缘砷化镓衬底上形成有源层,从而确保有源层的均匀性;采用扩散阻挡层的欧姆接触,避免了功率砷化镓场效应晶体管欧姆接触退化问题;采用0.5微米“r”型栅...
关键词:
关键词:砷化镓晶体管微波通信场效应C波段
共1页<1>
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