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陈旻

作品数：2 被引量：14H指数：2
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电器件
  • 1篇优化设计
  • 1篇制冷
  • 1篇制冷器
  • 1篇热电
  • 1篇热电器件
  • 1篇热电制冷
  • 1篇热电制冷器
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇结构形式
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS技术

机构

  • 2篇北京理工大学

作者

  • 2篇孔德文
  • 2篇廖波
  • 2篇陈旻
  • 1篇刘强
  • 1篇李娜

传媒

  • 1篇北京理工大学...
  • 1篇微电子学

年份

  • 2篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种MEMS热电制冷器的设计被引量：5
2004年
研究一种基于MEMS工艺的微型热电制冷器.采用薄膜热电材料减小器件的尺寸,采用微机械加工工艺形成的硅杯结构降低衬底的热泄漏.器件在材料和工艺上都与微电子工艺兼容,易于与电子器件集成.分别讨论了热电臂长度、厚度及绝缘膜厚度等结构参数对器件最大制冷温差、制冷系数、制冷功率等性能的影响,得出最优的设计参数.分析中考虑了绝缘层热泄漏,制冷区的热对流和热辐射,以及接触电阻等非理想因素.分析结果表明,器件工作时达到的最大温差为40K;冷端温度为290K时,制冷功率为3mW.
廖波孔德文陈旻李娜刘强
关键词：热电制冷器微电子机械系统
基于MEMS技术的微热电器件的研究进展被引量：9
2004年
　对基于MEMS微加工工艺的微致冷器件和微发电器件的最新研究情况进行了综述,对各种结构形式和研究现状进行了综合比较。从微热电器件的优化设计方法、微机械加工工艺等方面,分析了提高微热电器件性能的途径。
陈旻廖波孔德文
关键词：MEMS技术优化设计结构形式
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共1页<1>
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