廖波
- 作品数:22 被引量:60H指数:5
- 供职机构:北京理工大学更多>>
- 发文基金:国防科技技术预先研究基金国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电气工程电子电信一般工业技术更多>>
- 射频磁控溅射法制备薄膜电池电极及计算机模拟研究
- 2006年
- 本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法,研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法。
- 吕敬廖波陈宜升段恋华
- 关键词:计算机模拟射频磁控溅射薄膜电池
- 微机电热电制冷器及其制造方法
- 本发明提供一种能够用于集成电路系统芯片制冷的微机电热电制冷器件。所述微机电热电制冷器件采用了双层的热电偶立体阶梯状结构,结构主要由硅片衬底、衬底一面上多晶硅薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的多晶硅薄膜条、和衬底另一面的空腔...
- 廖波孔德文李娜
- 文献传递
- 纳米硅薄膜材料在场发射压力传感器研制中的应用被引量:6
- 2003年
- 设计研制了一种基于量子隧道效应机制的场发射压力传感器原型器件,用CVD技术制备了粒径为3~9 nm,厚度为30~40 nm的纳米硅薄膜,并同时把这种低维材料引入到传感器阴极发射尖锥的制作,形成纳米硅薄膜为实体的发射体结构.用HREM及TED分析了纳米硅态的显微特性,用场发射扫描电子显微镜SEM分析了发射体及阵列的微观结构,用HP4145B晶体管参数测试仪考察了传感器件的场发射特性.实验结果表明,当外加电场为5.6×103V/m时,器件有效区域发射电流密度可达53.5A/m2.
- 廖波谢君堂仲顺安王静静张大成李婷郝一龙罗葵
- 关键词:场发射特性电流密度
- 尖晶石LiMn_2O_4的容量衰减与性能改进被引量:1
- 2007年
- 尖晶石LiMn2O4是制作锂离子电池正极的很有希望的材料。但研究中发现,LiMn2O4在高温下和循环过程中,存在着容量衰减现象。它是目前制约尖晶石LiMn2O4走向商品化生产的关键性因素。综述了LiMn2O4容量衰减的原因和抑制措施,分析出容量衰减的原因,主要包括活性物质的化学稳定性和LiMn2O4结构稳定性两个方面。其中HF造成的锰的溶解是主要原因。采取掺杂富锂核与富锂相结合的措施,可以有效地抑制LiMn2O4的容量衰减,改善其循环性能。
- 陈宜升廖波王银杰王波
- 关键词:锂离子电池尖晶石LIMN2O4掺杂
- 薄膜LiMn_2O_4阴极制备研究进展
- 2006年
- 尖晶石状LiMn2O4是制备高能量密度的锂离子电池的一种很有发展前景的阴极材料。评论了近年来制备薄膜阴极的方法,包括化学酸基溶解法、溶胶-凝胶法、激光焙烧法、增强型等离子体化学气相淀积法、脉冲激光法、电子束喷射沉积法和射频磁控溅射法。着重分析了能够和IC、MEMS工艺良好集成的射频磁控溅射的方法,提出了工艺路线,并规划了下一步工作。
- 刘强廖波王银杰
- 关键词:薄膜电池LIMN2O4
- 场发射压力传感器的研究进展被引量:7
- 2000年
- 对现有场发射压力传感器的各种结构形式和研究现状进行了综合比较 ;从压力测量范围、阴极发射电流强度及阴阳极对准键合等方面分析传感器的改进途径 ;讨论了在阴极发射体阵列上淀积纳米硅薄膜 ,提高器件灵敏度的设想。
- 廖波林鸿溢王越
- 关键词:场发射压力传感器纳米硅薄膜
- 纳米半导体电容型CO2气体敏感元件研制
- 本文采用共沉淀与机械物理固相效应相结合的方法,经过电价掺杂半导化工艺制备了高纯纳米n型BaTiO,以此半导化粉体为原料,进行异质p型CuO半导化粉体掺杂,烧渗导电银浆,研制了一种新型纳米CuO-BaTiO半导体电容型CO...
- 廖波张捷韦钦
- 文献传递
- 薄膜锂电池的研究进展被引量:3
- 2005年
- 适应微系统的需要发展起来的薄膜锂电池,具有很高的比容量和很长的循环寿命,是真正的全固态电池。集成到微电子线路板上,使其应用非常广泛。概述了薄膜锂电池的基本制备工艺、应用领域和薄膜锂电池的研究及产业化的状况。
- 杜柯其鲁廖波王银杰刘强
- 关键词:薄膜锂电池微系统能量密度
- 锂离子电池正极材料FePO_3(英文)被引量:4
- 2007年
- 通过控制溶液的pH值用FeCl3和Na3PO4溶液共沉淀法制备出了无定型FePO4.1.3H2O,通过成分析,热分析,X射线衍射和扫描电镜分析对材料进行了表征。该材料在0.2 mA.cm-2的电流密度下起始容量达到130mA.h.g-1同时具有良好的循环性能,表现出一个良好的锂离子电池候选材料。球磨可以提高材料的电化学性质,可能是因为其中活性成份含量提高的原因。当其加热到700℃成为晶态的FePO4时则容量变低,这种高温下容量的损失的机理可能是与高温下形成非活性相有关。
- 曹传宝唐义会廖波
- 关键词:磷酸铁锂电池
- 纳米碳化硅(SiC)薄膜结构与溅射参数的关系
- 本实验采用射频磁控溅射方法,在高阻单晶Si(100)衬底上制备出了纳米SiC薄膜。采用高分辨原子力显微镜(AFM),观察到在合适条件下沉积的SiC薄膜是由纳米尺寸的SiC晶粒构成,这与红外光谱(FTIR)的结果相吻合。改...
- 王玫黄安平张德学宋雪梅王波严辉廖波
- 关键词:纳米SIC薄膜磁控溅射FTIRAFM
- 文献传递