肖金龙
- 作品数:9 被引量:25H指数:3
- 供职机构:重庆大学物理学院应用物理系更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金教育部“春晖计划”更多>>
- 相关领域:理学电子电信自动化与计算机技术化学工程更多>>
- CVD金刚石薄膜紫外光探测器研究被引量:1
- 2001年
- 金刚石薄膜紫外光探测器对紫外光有较高的灵敏度和良好的开关特性。本文讨论了该器件的光电流随入射光波长的变化和开关时间响应。实验证明 ,金刚石薄膜是一种良好的紫外光探测材料。
- 肖金龙
- 关键词:CVD金刚石薄膜紫外光光探测
- 负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化影响的理论分析
- 2000年
- 从理论上研究了负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化的影响 。
- 王必本王万录廖克俊肖金龙
- 关键词:离子轰击金刚石膜
- 负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究被引量:1
- 2000年
- 利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .
- 王必本王万录廖克俊肖金龙
- 关键词:金刚石膜
- 激光法制备金刚石膜的参数对其质量的影响
- 2000年
- 利用扫描电子显微镜和 Raman光谱分析了激光法制备的金刚石膜 ,给出了实验结果 .着重分析了制备金刚石膜的参数对其质量的影响 .
- 王必本王万录廖克俊肖金龙
- 关键词:金刚石膜激光波长
- 热灯丝CVD沉积金刚石膜系统中负衬底偏压增强活性离子流量的理论分析
- 2000年
- 本文对热灯丝 CVD沉积金刚石膜的核化过程进行了分析 ,从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量 .
- 王必本王万录廖克俊肖金龙
- 关键词:金刚石膜
- SiC在异质衬底生长金刚石膜的作用分析被引量:2
- 2000年
- 利用扫描电子显微镜 (SEM)、Raman光谱分析了Si衬底上金刚石膜核化和生长的过程 ,并着重分析了核化过程产生的SiC的性能。利用划痕法测量了在WC衬底上沉积SiC和未沉积SiC时生长金刚石膜的粘附力 ,同时还分析了WC衬底上有和没有SiC沉积层时表面附近金刚石膜的内应力。结果表明 ,SiC层大大地增强了含碳粒子的聚集和金刚石膜与衬底之间的粘附性 。
- 王必本王万录廖克俊肖金龙
- 关键词:金刚石膜粘附力内应力硅衬底化学气相沉积
- 用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO_2薄膜的研究被引量:8
- 2000年
- 采用无机试剂 ( Sn Cl4 · 5H2 O)为原料 ,用溶胶 -凝胶 ( Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的 Sn O2 薄膜 ,研究了 Sn O2 薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系 ,并且用 XRD对 Sn O2 薄膜进行分析 .结果表明 ,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响 ,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度 .
- 秦友兰王万录赵作峰肖金龙董玉峰
- 关键词:XRD二氧化锡薄膜溶胶-凝胶法气敏传感器
- 衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展被引量:3
- 2000年
- 综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题。
- 王必本王万录廖克俊肖金龙
- 关键词:金刚石薄膜化学气相沉积
- 离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响被引量:11
- 2001年
- 利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对负衬底偏压增强金刚石核化的过程进行了分析 ,从理论上探索了负衬底偏压作用下离子的轰击效应增强金刚石核在Si衬底上附着力的机理 ,给出了金刚石核与衬底的附着力和衬底负偏压之间的关系 .
- 王必本王万录廖克俊肖金龙方亮
- 关键词:金刚石膜离子轰击核化附着力