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阎发旺

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇生长速率
  • 4篇生长温度
  • 4篇子线
  • 4篇量子
  • 4篇量子线
  • 4篇分子束
  • 4篇分子束外延
  • 2篇自组织生长
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子学
  • 2篇晶体管
  • 2篇分子束外延技...
  • 2篇场效应
  • 2篇场效应晶体管

机构

  • 4篇中国电子科技...

作者

  • 4篇梁春广
  • 4篇阎发旺
  • 4篇张文俊
  • 4篇张荣桂
  • 2篇熬金平
  • 2篇刘伟吉
  • 2篇李献杰
  • 2篇曾庆明

年份

  • 2篇2003
  • 2篇2001
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法
本发明公开了一种量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法。该方法具有工艺简单,可重复性强,制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备,通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的,它不涉...
阎发旺梁春广张文俊李献杰张荣桂曾庆明熬金平刘伟吉
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分子束外延自组织生长量子线结构材料制备方法
本发明公开了一种分子束外延自组织生长量子线结构材料制备方法。它利用分子束外延技术和高面指数衬底本身不平整性的特点,在控制好一定的生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等生长条件下,在分子束外延设备中自组织一次外延制备...
阎发旺张文俊张荣桂梁春广
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量子线场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种量子线场效应晶体管的制备方法。该方法具有工艺简单，可重复性强，制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备，通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的，它不涉及光刻、外延...
阎发旺梁春广张文俊李献杰张荣桂曾庆明熬金平刘伟吉
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分子束外延自组织生长量子线的制备方法
本发明公开了一种分子束外延自组织生长量子线的制备方法。它利用分子束外延技术和高面指数衬底本身不平整性的特点，在控制好一定的生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等生长条件下，在分子束外延设备中自组织一次外延制备量子线...
阎发旺张文俊张荣桂梁春广
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