牛晓滨
- 作品数：3 被引量：20H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学化学与材料科学学院中国科学院结构分析重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 热丝CVD生长SiCN薄膜的研究被引量：17
- 2004年
- 在HFCVD系统中采用SiH4/CH4/H2/N2混合气体成功的制备了SiCN薄膜.SEM照片显示制备的SiCN薄膜由棒状结构构成,而在HRTEM下发现这些棒状结构是由生长在无定型SiCN基体当中的纳米晶粒组成的.进一步的SAED和XRD分析说明SiCN纳米晶粒具有类似于α-Si3N4的结构.XPS和FTIR分析表明薄膜中含有Si、C、N和O几种元素以及C=N、Si-N和C-N等共价键,但是并没有观察到C-Si的存在.由实验得出结论,SiCN晶体的生长包括两个步骤:α-Si3N4团簇的生长和C取代其中Si的过程.
- 牛晓滨廖源常超余庆选方容川
- 关键词：HFCVD化学气相沉积纳米晶粒薄膜生长
- 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用被引量：3
- 2001年
- 在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
- 方容川常超廖源叶祉渊薛剑耿王冠中马玉蓉尚乃贵牛晓滨王代冕吴气虹揭建胜
- 关键词：金刚石薄膜
- 两种碳基薄膜材料的CVD生长及其性质研究
- 类金刚石薄膜是一种在很多性质上接近金刚石的非晶材料,特别是具有在红外甚至部分可见光区透明的特点,所以它可以用来作为光学玻璃上的保护和消反射涂层.为了实现这个应用,我们利用热丝化学气相沉积法研究了类金刚石薄膜在熔融石英衬底...
- 牛晓滨
- 关键词：类金刚石薄膜薄膜生长
- 文献传递
