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李晓兵
作品数:
9
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孔梅影
中国科学院半导体研究所
朱世荣
中国科学院半导体研究所
孙殿照
中国科学院半导体研究所
曾一平
中国科学院半导体研究所
王晓亮
中国科学院半导体研究所
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1篇
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共
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高温微电子器件用GSMBE氮化物材料
孙殿照
王晓亮
王军喜
胡国新
刘宏新
朱世荣
张剑平
李晓兵
刘成海
黄运衡
曾一平
李晋闽
孔梅影
林兰英
该项目为GSMBE技术,是MBE技术的一种,根据所使用的气体不同可 分为使用氨气的NH_3-MBE和使用氮气等离子体的RF-MBE。前者依靠热分解把氨分子分解成氮原子,而后者则利用射频电磁场将氮分子裂解成氮原子。该课题使...
关键词:
关键词:
微电子
GSMBE
氮化物
MOCVD和GSMBE生长Ga_(0.5)In_(0.5)P外延层中有序结构的研究
被引量:2
1996年
用MOCVD在(100)、GSMBE在(100)和(111)BGaAs上生长了GaInP外延层.PL测试表明,(100)衬底上GaInPPL峰的能量比计算的带隙分别小43(GSMBE生长)和104meV(MOCVD生长).用Kurtz等人的模型对MOCVD和GSMBE生长的GaInP中有序度的不同进行了解释.并讨论了衬底晶向对GaInP中有序程度的影响.
董建荣
李晓兵
孙殿照
陆大成
李建平
孔梅影
王占国
关键词:
MOCVD
GSMBE
GaN材料的GSMBE生长
被引量:1
1997年
在国内首次用NH3作氮源的GSMB方法在α-Al2O3衬底上生长出了GaN单晶外延膜。GaN生长速率可达0.5μm/h。GaN外延膜的(0002)双晶X射线衍射峰回摆曲线的半高宽最窄为8arcmin,霍尔迁移率为50cm2/V.s。对质量好的GaN膜,室温阴极发光谱上只有一个强而锐的近带边发光峰,谱峰位于372nm处,谱峰半高宽为14nm(125meV)。
王晓亮
孙殿照
李晓兵
黄运衡
朱世荣
曾一平
李晋闽
孔梅影
林兰英
关键词:
氮化镓
分子束外延
蓝宝石
半导体
气态源分子束外延InP和InAs基Ⅲ-Ⅴ族化合物材料
被引量:1
1996年
本文简要报告我们气态源分子束外延实验结果.材料是GaAs(100)衬底上外延的晶格匹配的Iny(Ga1-xAlx)1-yP(x=0~1,y=0.5),InGaP/InAlP多量子阱;在InP(100)衬底上外延的InP,晶格匹配的InGaAs、InAlAs以及InP/InGaAs、InP/InAsP多量子阱,InGaAs/InAlASHEMT等.外延实验是用国产第一台化学束外延(CBE)系统做的.
袁瑞霞
阎春辉
国红熙
李晓兵
朱世荣
曾一平
李灵霄
孔梅影
关键词:
磷化铟
砷化铟
分子束外延
气态源分子束外延Ⅲ-Ⅴ族可见光半导体材料及其性质研究
该文利用气态源分子束外延(GSMBE)技术生长了GaN薄膜,GaInP/AlGaInP材料及AlGaInP激光器结构,并对材料的结构性能、电学、光学性质进行了系统的研究,取得了如下主要结果:一、GSMBE生长GaN薄膜及...
李晓兵
关键词:
GAN薄膜
结构性能
电学性质
光学性质
GaN压电效应对载流子浓度的影响
1998年
在NH3源GSMBE生长的GaN中观察到较大的双轴张应变.随着张应变的增加光致发光谱带边峰展宽,Hal测试得到的背景电子浓度增大.本文应用GaN的压电效应对此进行了解释.
张剑平
王晓亮
孙殿照
李晓兵
付荣辉
孔梅影
关键词:
半导体
氮化镓
压电效应
载流子浓度
InGaAs/InP超晶格材料的GSMBE生长研究
被引量:2
1995年
在国产第一台CBE(Chemicalbeamepitaxy)设备上,用GSMBE(Gassourcemolecularbeamepitaxy)技术在国内首次研究了InGaAs/InP匹配和应变多量子阱超晶格材料的生长,用不对称切换方法成功地生长了高质量的匹配和正负应变超晶格材料,并用双晶X-射线衍射技术对样品进行了测试和分析.结果表明,我们在国产第一台CBE设备上用GSMBE技术采用非对称切换方法生长的超晶格材料质量很好.
孙殿照
王晓亮
李晓兵
国红熙
阎春辉
李建平
朱世荣
李灵霄
曾一平
孔梅影
侯洵
关键词:
INGAAS
磷化铟
超晶格材料
GSMBE生长
金属有机源分子束外延(MOMBE)生长GaAs
1992年
阎春辉
孙殿照
国红熙
朱世荣
黄运衡
李晓兵
曾一平
孔梅影
关键词:
分子束
半导体
砷化镓
气态源分子束外延(AlGa)InP和GaInP/AlInP多量子阱材料
被引量:1
1994年
我们用国产第一台化学束外延(CBE)系统,采用气态源分子束外延(GSMBE)技术研制了与GaAs匹配的,性能良好的(AlGa)InP材料和GalnP/AlInP多量子阱材料.对这些材料进行了霍耳,光致发光(PL),阴极荧光(CL)以及X射线双晶衍射(XRD)等测量分析.
袁瑞霞
阎春辉
国红熙
李晓兵
朱世荣
李灵肖
曾一平
孔梅影
关键词:
可见光激光器
分子束外延
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