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郑海洋

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇圆片
  • 2篇圆片级
  • 2篇三维封装
  • 2篇平整
  • 2篇器件芯片
  • 2篇自组装
  • 2篇小球
  • 2篇芯片
  • 2篇局域
  • 2篇刻蚀
  • 2篇寄生效应
  • 2篇键合
  • 2篇键合强度
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻版
  • 2篇封装
  • 2篇衬底
  • 1篇氮化镓
  • 1篇氮化镓基发光...
  • 1篇植入

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇郑海洋
  • 3篇李晋闽
  • 3篇杜成孝
  • 3篇王军喜
  • 3篇魏同波
  • 2篇杨富华
  • 2篇严清峰
  • 2篇杨晋玲
  • 2篇吴奎
  • 2篇董鹏
  • 2篇张逸韵

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法
本发明公开了一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括如下步骤：选择表面平整的透明材料作为透明衬底；在透明衬底上铺上单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球刻蚀拉开，形成非密排小球；在非密排小...
杜成孝董鹏郑海洋魏同波严清峰吴奎张逸韵王军喜李晋闽
植入空气隙光子晶体的氮化镓基发光二极管的制备方法
本发明公开了一种植入空气隙光子晶体的氮化镓基发光二极管的制备方法，其包括：在n-GaN模板上铺单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球缩小，形成单层非密排小球；在铺有所述单层非密排小球的n-GaN模板上蒸镀掩蔽层，其中在...
杜成孝郑海洋魏同波王军喜李晋闽
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利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法
本发明公开了一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括如下步骤：选择表面平整的透明材料作为透明衬底；在透明衬底上铺上单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球刻蚀拉开，形成非密排小球；在非密排小...
杜成孝董鹏郑海洋魏同波严清峰吴奎张逸韵王军喜李晋闽
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用于微机电系统器件的圆片级三维封装方法
本发明公开了一种用于微机电系统器件的圆片级三维封装方法，该方法包括：制作盖片；以及将制作的盖片与器件芯片进行圆片级键合。本发明提出利用电磁力将微纳尺度的金属线导入微孔中来实现高质量可靠的三维电学连接，损耗低，寄生效应小；...
郑海洋杨晋玲杨富华
用于微机电系统器件的圆片级三维封装方法
本发明公开了一种用于微机电系统器件的圆片级三维封装方法，该方法包括：制作盖片；以及将制作的盖片与器件芯片进行圆片级键合。本发明提出利用电磁力将微纳尺度的金属线导入微孔中来实现高质量可靠的三维电学连接，损耗低，寄生效应小；...
郑海洋杨晋玲杨富华
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