易葵
- 作品数：333 被引量：448H指数：12
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 磁控溅射镀膜机的永磁枪靶装置
- 一种磁控溅射镀膜机的永磁枪靶装置，包括溅射靶材阴极、阳极及磁铁部件，其特征在于所述的磁铁部件是由许多的小的具有保护套的按一定形状排列不直接与冷却水接触的圆柱形磁铁构成的。本实用新型既保证了磁铁散热良好，不被冷却水腐蚀，又...
- 吕超易葵范正修
- 文献传递
- 基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法
- 本发明公开了一种基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法。通过离子束技术修正光学薄膜面形形变，使薄膜元件达到无残余应力双面平衡状态。具体方法为测量已制备薄膜元件面形的矢高值(Power)，根据矢高值失配量在基底背面镀制Si...
- 王胭脂陈昌王志皓张宇晖陆叶盛朱晔新张伟丽孙建陈宇邵宇川易葵冯吉军邵建达
- 紫外光刻二维平台
- 一种紫外光刻二维平台，该平台包括底板、立板、L形托板、深沟轴承、锁母、轴承盖、第一旋转台、传动支座、传感器、限位板、限位杆、第二旋转台、气嘴连接杆、平板、基板和限位块，利用本发明紫外光刻二维平台，将气嘴连接杆连接真空泵将...
- 刘世杰何骏易葵柯立公杨留江王斌王岳亮郭猛
- 文献传递
- 磷酸盐激光玻璃元件的装运箱
- 一种磷酸盐激光玻璃元件的装运箱，包括箱体、搭扣、合页、箱盖、箱盖密封槽、箱体密封条，通过所述的合页和搭扣将所述的箱盖密封槽和箱体密封条卡口密合，使所述的箱体与所述的箱盖构成一个密封体，其特点在于所述的箱体的一个端面设有湿...
- 单海洋徐学科贺洪波杨明红易葵邵建达
- 文献传递
- 不同退火过程对紫外HfO_2/SiO_2,Y_2O_3/SiO_2多层膜性能的影响被引量：1
- 2009年
- 采用直升式和阶梯式加热法对电子束热蒸发镀制出的HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2多层膜进行了400℃的退火处理,发现采用阶梯式加热法退火后多层膜在190～300 nm范围内的峰值反射率均得到提高,说明此种后处理方法可能会改善膜层在紫外波段的光学性能。再对HfO2,,2O3的单层膜进行行相应的退火处理,发现退火后HfO2膜层的物理厚度减小从而发生蓝移现象;直升式退火使Y2O3膜层的折射率变小引起蓝移,阶梯式退火使得Y2O3膜层的物理厚度减小引起蓝移。对退火前后样品的微结构进行X射线衍射(XRD)法测量发现,退火可以使材料进行晶化,并且采用直升式加热法后材料的结晶度更大,从而膜内散射变大,会引起膜层反射率的轻微降低。
- 袁景梅贺洪波易葵邵建达范正修
- 关键词：光学薄膜紫外退火
- 一种多面体转镜镀膜装夹装置
- 本发明属于光学元件镀膜技术领域，揭示一种多面体转镜镀膜装夹装置，包括支架、轴承库、传动部分、从动部分、样品台；支架呈L型，一面与镀膜设备行星盘相连，另一面与轴承库侧面相抵；轴承库呈方型，顶部和两侧均设有深沟球轴承；传动部...
- 张伟丽陈兴凤李令灏陈才金华张杨晓晨史肖阳冯操孙建周璟超沈雪峰王胭脂易葵邵宇川邵建达
- 193nm氟化物增透膜的特性被引量：2
- 2011年
- 为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物增透膜,研究了基底和不同氟化物材料组合对氟化物增透膜的影响。在熔石英基底上,将挡板法和预镀层技术相结合,采用热舟蒸发方式制备了不同氟化物材料组合增透膜,对增透膜的剩余反射率和光学损耗等光学特性,以及表面粗糙度和应力等特性进行了测量和比较。在分析比较和优化的基础上,设计制备的3层1/4波长规整膜系AlF3/LaF3增透膜在193 nm的剩余反射率低于0.14%,单面镀膜增透膜的透射率为93.85%,增透膜表面均方根粗糙度为0.979 nm,总的损耗约为6%。要得到高性能的193 nm增透膜,应选用超级抛光基底。
- 薛春荣易葵邵建达
- 关键词：基底
- 综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法
- 一种电子束蒸发、离子束辅助与离子束溅射综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法，设备包括由左电子枪坩埚、右电子枪坩埚、离子源辅源、离子源主源、溅射靶材和夹具盘组成的综合沉积系统。本发明结合了电子束蒸发沉积技术、离子束辅助沉积技术及...
- 朱美萍曾婷婷邵建达易葵孙建李静平王建国张伟丽
- 全啁啾镜色散补偿的亚8 fs钛宝石激光器被引量：1
- 2015年
- 报道了一种基于全啁啾镜腔内色散补偿的、可长期稳定运行的亚8 fs钛宝石激光器.在4 W绿光抽运下,可获得300 mW、86 MHz脉冲输出.腔内用于色散补偿的两对啁啾镜是国内自主设计自行镀膜的,其对色散的精确控制可以在腔内不加尖劈对的情况下获得半宽超过150 nm超宽带输出.利用腔外色散补偿,脉冲宽度被压缩至7.9 fs,这是目前采用国产啁啾镜获得的最短脉宽,也是无尖劈对谐振腔获得的最短脉宽.同时,利用电路系统提供实时反馈调节,可保证钛宝石激光器长期稳定运行,24 h内功率抖动约0.6%.
- 范海涛王胭脂王兆华叶蓬胡国行秦爽何会军易葵邵建达魏志义
- 关键词：啁啾镜钛宝石FS
- 氧化钇稳定氧化锆真空镀膜材料及其制备方法
- 一种氧化钇稳定氧化锆的真空镀膜材料及其制备方法，该材料的原料mol％为：氧化锆75～98，氧化钇2～25，添加适量的聚乙烯醇结合剂。其制备方法包括以下步骤：①以氧化锆和氧化钇粉料为原料，按选定的摩尔百分比称量原料，混合均...
- 吴师岗邵建达易葵范正修
- 文献传递
