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徐峰

作品数：8 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 4篇光刻
  • 3篇掩模
  • 2篇单点
  • 2篇调平
  • 2篇衍射
  • 2篇止推
  • 2篇止推轴承
  • 2篇三维形貌
  • 2篇投影光刻
  • 2篇投影光刻机
  • 2篇轴承
  • 2篇阻尼
  • 2篇阻尼孔
  • 2篇六自由度
  • 2篇节流
  • 2篇节流孔
  • 2篇静压
  • 2篇空间频率
  • 2篇空气静压
  • 2篇空气静压止推...

机构

  • 8篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 8篇徐峰
  • 8篇胡松
  • 7篇赵立新
  • 4篇李金龙
  • 4篇李兰兰
  • 4篇盛壮
  • 3篇唐小萍
  • 3篇周绍林
  • 3篇陈明勇
  • 3篇杨勇
  • 3篇陈旺富
  • 1篇陈铭勇
  • 1篇唐燕
  • 1篇朱江平
  • 1篇唐路路

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 4篇2011
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法
一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法，其特征在于：平面波入射到位于掩模上的第一组标记光栅与第二组标记光栅，衍射级次经硅片反射后再次透过标记光栅，在掩模面形成恒定的干涉场；当硅片在横、纵截面两个方向存在倾斜时，将导致干涉...
周绍林胡松唐小萍赵立新徐峰陈旺富杨勇陈明勇
一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置
本发明提供一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置，该装置包含激光器、聚焦光学单元、力检测单元、位置检测单元、六自由度工件台、硅片、差分放大器、Z向反馈控制单元、扫描信号发生器、三维形貌数据存储单元；由激光器发出的激光束经...
李金龙胡松赵立新徐峰李兰兰盛壮
一种数字光栅无掩模光刻对准方法被引量：1
2012年
针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。
唐路路胡松徐峰唐燕陈铭勇朱江平
关键词：光栅无掩模光刻
一种空气静压止推轴承
本发明一种空气静压止推轴承，在轴承本体上有进气口、环槽、多个节流孔、多个气腔、储气腔、多个阻尼孔、轴承工作面和上平面；在轴承本体的上平面垂直向内部的位置及在进气口内侧端的位置设有环槽，在环槽的一侧壁上具有一透孔，所述透孔...
李金龙胡松赵立新徐峰李兰兰盛壮
纳米光刻掩模硅片间隙测量及调平装置
纳米光刻掩模硅片间隙测量及调平装置由光源激光管发出的单色平面波经第一反射镜反射后，垂直入射位于掩模标记区域内的第一标记光栅和第二标记光栅，从第一标记光栅透射的衍射光B<Sub>1</Sub>经硅片表面反射与另一束直接从第...
周绍林胡松唐小萍赵立新杨勇陈旺富徐峰陈明勇
文献传递
一种空气静压止推轴承
本发明一种空气静压止推轴承，在轴承本体上有进气口、环槽、多个节流孔、多个气腔、储气腔、多个阻尼孔、轴承工作面和上平面；在轴承本体的上平面垂直向内部的位置及在进气口内侧端的位置设有环槽，在环槽的一侧壁上具有一透孔，所述透孔...
李金龙胡松赵立新徐峰李兰兰盛壮
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一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置
本发明提供一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置，该装置包含激光器、聚焦光学单元、力检测单元、位置检测单元、六自由度工件台、硅片、差分放大器、Z向反馈控制单元、扫描信号发生器、三维形貌数据存储单元；由激光器发出的激光束经...
李金龙胡松赵立新徐峰李兰兰盛壮
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一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法
一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法，其特征在于：平面波入射到位于掩模上的第一组标记光栅与第二组标记光栅，衍射级次经硅片反射后再次透过标记光栅，在掩模面形成恒定的干涉场；当硅片在横、纵截面两个方向存在倾斜时，将导致干涉...
周绍林胡松唐小萍赵立新徐峰陈旺富杨勇陈明勇
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