李兰兰
- 作品数：22 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制被引量：1
- 2011年
- 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
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- 关键词：双直线电机模糊PID控制SIMULINK光刻
- 一种投影物镜焦面形状测量标记装置及应用
- 本发明提供一种投影物镜焦面形状测量标记装置及应用，含有镀铬区域、透光区域、相位凹槽区域，其中：镀铬区域、透光区域、相位凹槽区域的宽度比为2:1:1；相位凹槽区域具有90°的位相深度。使用时，制作一带有可提高投影物镜焦面形...
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- 文献传递
- 一种空气静压止推轴承
- 本发明一种空气静压止推轴承，在轴承本体上有进气口、环槽、多个节流孔、多个气腔、储气腔、多个阻尼孔、轴承工作面和上平面；在轴承本体的上平面垂直向内部的位置及在进气口内侧端的位置设有环槽，在环槽的一侧壁上具有一透孔，所述透孔...
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- 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准系统
- 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准系统，由光路部分、图像处理和电路控制部分组成；光路部分包括激光光源、透镜组、掩模、硅片、掩模光栅、硅片光栅、分光镜、物镜、CCD图像探测器；激光经过透镜组后形成均匀准直的平行光，透过两...
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- 一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统
- 本发明是一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统，由光路、图像处理模块、电路控制模块组成。光路包括准直激光束、两个光栅标记、四个透镜、硅片台、CCD图像探测器；准直激光束垂直照明一光栅标记，并沿着一、二透镜的光轴对硅片台表面...
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- 一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统
- 本发明公开了一种适用于步进扫描投影光刻机的掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统，包括运动轨迹规划模块、运动控制模块、运动执行模块、同步误差校正模块。本发明的优点是，采用轨迹规划模块对扫描曝光过程中硅片台及掩模台的加速度、...
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- 文献传递
- 一种空气静压止推轴承
- 本发明一种空气静压止推轴承，在轴承本体上有进气口、环槽、多个节流孔、多个气腔、储气腔、多个阻尼孔、轴承工作面和上平面；在轴承本体的上平面垂直向内部的位置及在进气口内侧端的位置设有环槽，在环槽的一侧壁上具有一透孔，所述透孔...
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- 一种大行程高速双重驱动纳米定位系统
- 本发明公开了一种大行程高速双重驱动纳米定位系统，该纳米定位系统包括运动轨迹指令系统(101)、主控计算机(102)、PMAC运动控制板卡(103)、伺服运动控制系统(104)、定位平台和测量控制系统(107)，其中，定位...
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- 一种单幅封闭条纹相位提取方法
- 一种单幅封闭条纹相位提取方法，包括步骤：条纹图像噪声滤波、通过小波脊提取相位和移除符号不确定性，其中相位提取方法中通过构造具有很好的尺度和角度方向选择性的二维解析小波函数，能同时对封闭条纹进行滤波和相位提取。本发明能更好...
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- 一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统
- 本发明是一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统，由光路、图像处理模块、电路控制模块组成。光路包括准直激光束、两个光栅标记、四个透镜、硅片台、CCD图像探测器；准直激光束垂直照明一光栅标记，并沿着一、二透镜的光轴对硅片台表面...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
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