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谷洪刚

作品数：102 被引量：1H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 98篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 17篇理学
  • 11篇机械工程
  • 8篇自动化与计算...
  • 7篇文化科学
  • 5篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 28篇光学
  • 22篇偏振
  • 15篇衍射
  • 15篇椭偏仪
  • 14篇光学常数
  • 13篇波片
  • 12篇入射
  • 12篇光学测量
  • 11篇叠层
  • 11篇矩阵
  • 11篇光谱
  • 9篇光刻
  • 9篇复合波片
  • 9篇传输矩阵
  • 8篇椭偏测量
  • 8篇系统模型
  • 8篇光强
  • 7篇噪声
  • 7篇光轴
  • 6篇旋转补偿器

机构

  • 102篇华中科技大学

作者

  • 102篇谷洪刚
  • 100篇刘世元
  • 50篇江浩
  • 38篇陈修国
  • 28篇张传维
  • 12篇刘力
  • 12篇杜卫超
  • 8篇李文杰
  • 7篇张松
  • 6篇李伟奇
  • 6篇钟志成
  • 5篇周玉
  • 4篇钟磊
  • 4篇李苏斌
  • 3篇石雅婷
  • 2篇陈锦
  • 2篇朱金龙
  • 2篇王一帆
  • 2篇张林
  • 1篇王鹏

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 16篇2024
  • 9篇2023
  • 12篇2022
  • 13篇2021
  • 12篇2020
  • 12篇2019
  • 7篇2018
  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 5篇2015
  • 1篇2014
  • 8篇2013
  • 2篇2012
共 102 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种三维图案化掩模或晶圆散射近场的快速计算方法
本发明属于散射近场相关技术领域，其公开了一种三维图案化掩模或晶圆散射近场的快速计算方法，方法包括：根据待求解三维图案化掩模或晶圆的结构特征将所述三维图案化掩模或晶圆分为非均匀层和均匀层；当光路的传播顺序为先非均匀层后均匀...
刘世元何玭炫刘佳敏谷洪刚
一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法
本发明属于光刻缺陷检测相关技术领域，其公开了一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法，包括以下步骤：(1)构造入射照明矩阵P(m，n，U<Sub>0</Sub>)，扫描入射待测含缺陷光刻样品O(x，y)，获得待测含缺陷样品的近场...
谷洪刚陈创创刘世元周玉
文献传递
一种材料光学跃迁分析方法及系统
本发明属于材料测量表征研究领域，并具体公开了一种材料光学跃迁分析方法及系统，其首先确定待分析材料的介电函数谱，并计算介电函数谱关于激发光能量的二阶导数谱，对二阶导数谱进行临界点分析以获取材料的临界点分析结果图；然后绘制材...
谷洪刚宋宝坤刘世元方明胜陈修国江浩
文献传递
一种液晶可变相位延迟器偏振特性检测方法及系统
本发明公开了一种LCVR偏振特性检测方法及系统，属于光学元件检测领域。该方法利用穆勒矩阵描述LCVR，建立LCVR特征参数与穆勒矩阵元素之间的关系，该系统采用穆勒矩阵椭偏仪测量待检测LCVR的穆勒矩阵随电压变化的曲线，从...
谷洪刚韦鹏刘世元宋宝坤
文献传递
一种二维材料层数快速识别方法及设备
本发明公开了一种二维材料层数识别方法，首先，将椭圆偏振光以基底布鲁斯特角入射到待测样品表面，探测得到反射光偏振信息，进而得到椭偏参数；然后将椭圆偏振光以基底的布鲁斯特角入射到空白基底表面，探测得到出射光偏振信息，得到椭偏...
谷洪刚祝思敏刘世元宋宝坤
文献传递
一种基于光束传播法的极紫外光刻仿真方法及系统
本申请属于光刻仿真技术领域，具体公开了一种基于光束传播法的极紫外光刻仿真方法及系统。通过本申请，通过光束传播方法计算极紫外掩模的近场分布，由于光束传播方法不需要进行迭代求解，而且傅里叶变换的引入允许横向上较大的离散网格，...
刘世元何玭炫刘佳敏钟志龙谷洪刚江浩
一种二维材料复光导率确定方法
本发明属于二维材料测量领域，并具体公开了一种二维材料复光导率确定方法，其首先根据电磁波在待测二维材料中的传播效应确定对应的计算方式；对于传播效应弱的二维材料，将其等效为无限薄片层，将二维材料椭偏参数用其复光导率进行表示，...
刘世元宋宝坤谷洪刚方明胜郭正峰陈修国江浩
文献传递
极大似然噪声估计的高动态范围叠层衍射成像术
2024年
衍射场作为叠层衍射成像技术(ptychography)的重要约束,其信息的丰富度和准确性将直接影响重构质量。提出一种基于极大似然噪声估计的高动态范围(ML-HDR)叠层衍射成像方法,即在探测器线性响应假设下,构建复合高斯噪声模型,根据极大似然估计求解最优权重函数,由多张低动态范围衍射场合成高信噪比衍射场。对比了单次曝光、传统HDR和ML-HDR三种方法的重构质量。仿真和实验结果表明:相比单次曝光,ML-HDR能将动态范围拓宽8位,重构分辨率提升至2.83倍;相比传统HDR,ML-HDR能提高重构图像的均匀性和对比度,且无需额外标定硬件参数。
李文杰谷洪刚刘力刘力钟磊周玉
关键词：高动态范围相位恢复极大似然估计
高温加载下测量薄膜光学常数及形貌参数的装置及方法
本发明属于光学测量相关技术领域，并具体公开了一种高温加载下测量薄膜光学常数及形貌参数的装置及方法。所述装置包括光学常数测量模块和高温加热模块，高温加热模块包括高温加热腔、石英玻璃窗、高温加热台、高温台控制器以及气体流道单...
江浩刘佳敏刘世元洪琳谷洪刚
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一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统
本发明提供了一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统，属于精密光学测量仪器领域，方法包括：将各理论参数以及待测样件的预估膜厚输入至旋转偏振器件光谱椭偏仪的系统模型中，获取包含理论傅里叶系数的系统方程；采用旋转偏振器...
谷洪刚刘世元王敬军江浩
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