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杜卫超

作品数：22 被引量：5H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家重大科学仪器设备开发专项湖北省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇机械工程
  • 3篇理学
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇椭偏仪
  • 6篇偏振
  • 6篇系统模型
  • 4篇增量式编码器
  • 4篇纳米
  • 4篇光谱
  • 4篇编码器
  • 4篇波片
  • 3篇电机
  • 3篇旋转补偿器
  • 3篇伺服
  • 3篇伺服电机
  • 3篇偏振光
  • 3篇光谱仪
  • 3篇光学
  • 2篇单片
  • 2篇单片机
  • 2篇调整装置
  • 2篇远场
  • 2篇噪声

机构

  • 22篇华中科技大学
  • 1篇武汉颐光科技...

作者

  • 22篇杜卫超
  • 21篇刘世元
  • 19篇张传维
  • 13篇陈修国
  • 12篇谷洪刚
  • 8篇李伟奇
  • 6篇李苏斌
  • 4篇谭寅寅
  • 3篇江浩
  • 2篇陈锦
  • 1篇陈军
  • 1篇袁奎

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 2篇2017
  • 5篇2016
  • 8篇2015
  • 1篇2014
  • 6篇2013
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法
本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得n阶旋转补偿器型椭偏仪椭偏仪系统误差与元件误差之间的关系。最后...
刘世元杜卫超张传维谷洪刚李苏斌
文献传递
纳米尺度下大面积散射场的快速测量方法及装置
本发明公开了一种纳米尺度下快速大面积海量散射场测量的装置，包括：起偏端，用于将光束进行调制得到一定偏振态的光束；检偏端，用于将偏振态光束进行解调以获得样品信息；还包括物镜和第一透镜，待测样品位于物镜的前焦面上，偏振态光束...
刘世元杜卫超张传维谭寅寅
文献传递
适用于纳米级三维形貌测量的远场矢量光学特性建模方法
本发明公开了一种适用于纳米级三维形貌测量的远场矢量光学特性建模方法，包括:获得探测样品近场处的矢量电磁场分布，并经由采用高NA物镜的偏振光学系统执行传播，由此依次执行近场至入瞳、入瞳至出瞳，以及出瞳至探测平面的传播过程；...
江浩谭寅寅杜卫超刘世元陈修国
文献传递
层析穆勒矩阵散射仪研究
椭偏测量术是一种利用光的偏振特性获取样品信息的光学测量方法，其核心是通过测量样品的反射光或透射光，从而获得偏振光在反射或透射前后的偏振状态变化，进而从中提取出样品的信息。近年来随着椭偏测量术的仪器化开发、应用以及理论解释...
杜卫超
关键词：散射仪偏振特性
椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数，然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点，建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型，最后根据传递...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法，首先，将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动，将另外一个单波片与旋转装置相连，使两个单波片之间产生相对转动；然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上，并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
一种四分之一双波片相位延迟器
本发明公开了一种四分之一双波片相位延迟器，可在紫外、可见及近红外的波段范围内实现消色差，其特征在于，该双波片相位延迟器由两个同种材料或者不同材料的四分之一零级波片构成，该两零级波片沿光轴平行布置，且两光轴夹角为45°，其...
刘世元谷洪刚张传维陈修国李伟奇杜卫超
一种纳米结构几何参数大面积在线测量装置及其测量方法
本发明公开了一种纳米结构几何参数大面积在线测量装置及其测量方法，可获得包含整个视场的大面积区域内纳米结构的三维显微形貌。由光源发出的光经过单色仪变为单色光，先后经过准直镜、起偏器和起偏臂端相位补偿器得到椭圆偏振光束后投射...
刘世元陈修国杜卫超张传维
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一种广义椭偏仪的同步控制系统
本发明属于广义椭偏仪的控制技术，具体为一种广义椭偏仪的同步控制系统。该同步控制系统至少包括：第一、第二中空伺服电机及其内置的增量式编码器、伺服电机控制器、两个补偿器、光谱仪、计算机和单片机。其中伺服电机控制器、光谱仪分别...
刘世元杜卫超张传维陈修国陈锦谷洪刚
文献传递
一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是...
刘世元李苏斌李伟奇张传维杜卫超
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