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刘世元

作品数：338 被引量：273H指数：9
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 241篇专利
  • 60篇期刊文章
  • 34篇会议论文
  • 2篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 69篇机械工程
  • 57篇理学
  • 50篇自动化与计算...
  • 36篇电子电信
  • 16篇文化科学
  • 14篇一般工业技术
  • 5篇金属学及工艺
  • 5篇医药卫生
  • 4篇化学工程
  • 3篇电气工程
  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇航空宇航科学...
  • 1篇天文地球

主题

  • 68篇光学
  • 51篇偏振
  • 48篇椭偏仪
  • 31篇光刻
  • 31篇光谱
  • 29篇纳米
  • 25篇入射
  • 24篇光学测量
  • 23篇光学常数
  • 20篇矩阵
  • 19篇衍射
  • 19篇偏振光
  • 19篇椭偏测量
  • 18篇光强
  • 18篇测量方法
  • 15篇散射
  • 14篇半导体
  • 13篇叠层
  • 12篇起偏器
  • 9篇旋转补偿器

机构

  • 338篇华中科技大学
  • 6篇暨南大学
  • 6篇武汉光电国家...
  • 6篇武汉颐光科技...
  • 5篇上海精测半导...
  • 4篇武汉光电国家...
  • 2篇武汉科技大学
  • 1篇北京大学
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇湖北工业大学
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇太原科技大学
  • 1篇华南理工大学
  • 1篇天津大学
  • 1篇浙江大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国航天科工...
  • 1篇中国工程院
  • 1篇中北大学

作者

  • 338篇刘世元
  • 146篇陈修国
  • 104篇谷洪刚
  • 91篇张传维
  • 91篇江浩
  • 40篇史铁林
  • 23篇石雅婷
  • 21篇杜卫超
  • 19篇朱金龙
  • 16篇李伟奇
  • 12篇刘力
  • 10篇廖广兰
  • 10篇谢勇君
  • 9篇汤自荣
  • 8篇陈超
  • 8篇王鹏
  • 8篇李苏斌
  • 8篇张松
  • 8篇张劲松
  • 8篇钟志成

传媒

  • 6篇物理学报
  • 6篇激光与光电子...
  • 5篇机械工程学报
  • 5篇华中科技大学...
  • 4篇第十七届全国...
  • 3篇仪器仪表学报
  • 3篇中国机械工程
  • 3篇计算机工程
  • 3篇计算机工程与...
  • 3篇微计算机信息
  • 2篇光学学报
  • 2篇红外与毫米波...
  • 2篇激光技术
  • 2篇光电工程
  • 2篇功能材料与器...
  • 1篇传感器技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇宇航学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇计量技术

年份

  • 35篇2024
  • 27篇2023
  • 29篇2022
  • 31篇2021
  • 23篇2020
  • 18篇2019
  • 28篇2018
  • 7篇2017
  • 16篇2016
  • 19篇2015
  • 17篇2014
  • 18篇2013
  • 8篇2012
  • 6篇2011
  • 10篇2010
  • 9篇2009
  • 8篇2008
  • 7篇2007
  • 3篇2006
  • 6篇2005
共 338 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
晶圆检测配置参数的优化方法及装置
本申请属于半导体制造技术领域，具体公开了一种晶圆检测配置参数的优化方法及装置，方法包括：将照明光瞳和收集光瞳的图形分别栅格化，得到第一二维分布矩阵和第二二维分布矩阵；基于偏振照明的方式和第一二维分布矩阵，确定照明光瞳的光...
刘世元严明刘佳敏江浩郭少鹏朱金龙谷洪刚
一种基于二维硒化亚锡的可调波长偏振器及其设计方法
本发明提供了一种基于二维硒化亚锡的可调波长偏振器及其设计方法，属于新型偏振光学器件领域，偏振器包括带有二氧化硅的硅基底和二维SnSe层；二维SnSe层用于当入射光以不同角度斜射至其表面时，将p光反射率最小值对应的不同波长...
谷洪刚郭正峰刘世元
一种OLED器件多个目标的协同优化方法
本发明属于OLED器件相关技术领域，其公开了一种OLED器件多个目标协同优化方法，该方法首先分别获取多个目标与OLED器件膜层的厚度矩阵的关系式；然后分别获取多个关系式与其对应的预设目标期望值的偏差，并建立多个偏差的联合...
谷洪刚刘世元陈林雅柯贤华赵雪楠江浩
文献传递
层析穆勒矩阵散射仪研制及纳米结构测量应用
<正>椭偏测量术是一种利用光的偏振特性获取样品的光学测量方法,伴随着其应用领域的延伸,仅能收集平面反射光或零级衍射光的传统椭偏测量设备无法满足更广泛的应用测量需求。为此,本文以传统光谱椭偏仪为基础,结合层析成像技术,提出...
陈超陈修国刘世元
文献传递
一种套刻标记形貌和测量条件优化方法
本发明公开了一种套刻标记形貌和测量条件优化方法，属于光刻领域。首先，根据光刻工艺确定套刻标记形貌结构和材料光学常数。其次，通过解析或数值的建模方法可计算套刻光学表征曲线。然后，根据泰勒公式得到套刻测量重复性精度和准确度的...
石雅婷李旷逸陈修国刘世元
文献传递
一种基于远场衍射差分光强不对称的光刻缺陷检测方法
本申请属于光学检测技术领域，具体公开了一种基于远场衍射差分光强不对称的光刻缺陷检测方法，包括以下步骤：获取待测光刻样品的近场电场分布并输入至光场传播模型，获得对应含缺陷的远场衍射光强分布函数；将含缺陷的远场衍射光强与不含...
谷洪刚周玉刘世元
一种噪声实时分离的叠层衍射计算成像方法和装置
本发明公开一种噪声实时分离的叠层衍射计算成像方法和装置，属于相干衍射成像领域。本发明首次提出用于承载噪声能量的虚拟探针模型，将耦合的噪声误差通过重构算法迭代分离到噪声探针内部，极大提升重构算法的鲁棒性及待测样品、照明波前...
刘世元刘力谷洪刚李文杰
光谱椭偏数据分析中光学常数模型的智能选择
吴天赐陈修国刘世元
一种高压光谱椭偏测量装置及测量方法
本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种高压光谱椭偏测量装置及测量方法。该装置包括入射起偏光路、反射检偏光路和装夹单元，入射起偏光路中设置有第一微透镜，用于将直径为毫米级的平行光束汇聚成直径为微米级的光斑并照射在待测...
江浩刘佳敏王勐刘世元王一帆谷洪刚
文献传递
基于主分量分析的信号白化解相关处理被引量：8
2005年
介绍了主分量分析及其计算方法,论证了采用主分量分析方法对混合信号进行白化解相关处理的理论基础,对基于主分量分析方法的解相关处理进行了仿真。结果表明,对信号进行解相关处理可以大幅度降低信号之间的互相关程度。
王峻峰史铁林刘世元何岭松
关键词：解相关白化主分量盲源分离
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