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张双喜

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇中文专利

主题

  • 9篇真空设备
  • 8篇光源
  • 7篇紫外
  • 6篇纳米
  • 5篇光源系统
  • 3篇电学
  • 3篇电学性质
  • 3篇电子器件
  • 3篇氧化改性
  • 3篇原位表征
  • 3篇紫外光源
  • 3篇微纳米结构
  • 3篇离子束
  • 3篇离子束溅射
  • 3篇纳米光电子器...
  • 3篇化学反应
  • 3篇化学气相
  • 3篇溅射
  • 3篇溅射法
  • 3篇溅射法制备

机构

  • 12篇上海交通大学

作者

  • 12篇陶海华
  • 12篇张双喜
  • 6篇王庆康
  • 6篇陈险峰
  • 6篇蒋为桥

年份

  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 7篇2013
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置及方法
本发明提供了一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置和方法，该装置包括离子束溅射装置和准直过滤装置，准直过滤装置与离子束溅射装置的样品架连接，准直过滤装置包括：圆盘、若干过滤网和多个圆环，圆盘的下表面与样品架连接，各...
陶海华张双喜乔延琦蒋为桥陈险峰
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紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性真空设备及其使用方法
本发明公开了一种紫外光/臭氧表面清洗和氧化改性真空设备，包括真空腔室、紫外光源、水冷系统、样品架、真空系统和气压监控系统。真空腔室的内层为高反射铝板，外层为不锈钢加强筋。真空腔室内部顶端固定紫外光源的紫外灯管，紫外灯管的...
陶海华张双喜陈险峰
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用于化学气相和紫外光化学干法表面清洗改性的真空装置
本实用新型公开了一种用于化学气相和紫外光化学干法表面清洗改性的真空装置，主要由真空腔室、紫外光源系统、真空泵系统和真空设备控制系统组成，真空腔室由高真空内腔室和低真空外腔室组成：外腔室顶端固定紫外灯光源；内腔室具有高度可...
陶海华张双喜蒋为桥王庆康
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集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备
本发明公开了一种集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备，主要由真空腔室、紫外光源系统、真空泵系统和真空设备控制系统以及电子元件测试系统组成，真空腔室由高真空内腔室和低真空外腔室组成：外腔室顶端固定紫外灯光源；...
陶海华张双喜王庆康
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紫外光和臭氧表面清洗与氧化改性真空设备
本实用新型公开了紫外光和臭氧表面清洗与氧化改性真空设备，包括真空腔室、紫外光源、水冷系统、样品架、真空系统和气压监控系统。真空腔室的内层为反射铝板，外层为不锈钢加强筋。真空腔室内部顶端固定紫外光源的紫外灯管，紫外灯管的上...
陶海华张双喜陈险峰
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集紫外光化学与化学气相干法表面处理的真空设备
本发明公开了一种集紫外光化学与化学气相干法表面处理的真空设备，主要由真空腔室、紫外光源系统、真空泵系统和真空设备控制系统组成，真空腔室由高真空内腔室和低真空外腔室组成：外腔室顶端固定紫外灯光源；内腔室具有高度可调节的样品...
陶海华张双喜蒋为桥王庆康
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一种对电子元件改性与电学性质表征的设备
本实用新型公开了一种对电子元件改性与电学性质表征的设备，主要由真空腔室、紫外光源系统、真空泵系统和真空设备控制系统以及电子元件测试系统组成，真空腔室由高真空内腔室和低真空外腔室组成：外腔室顶端固定紫外灯光源；内腔室具有高...
陶海华张双喜王庆康
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利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的方法
本发明提供了一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置和方法，该装置包括离子束溅射装置和准直过滤装置，准直过滤装置与离子束溅射装置的样品架连接，准直过滤装置包括：圆盘、若干过滤网和多个圆环，圆盘的下表面与样品架连接，各...
陶海华张双喜乔延琦蒋为桥陈险峰
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集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备
本发明公开了一种集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备，主要由真空腔室、紫外光源系统、真空泵系统和真空设备控制系统以及电子元件测试系统组成，真空腔室由高真空内腔室和低真空外腔室组成：外腔室顶端固定紫外灯光源；...
陶海华张双喜王庆康
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利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置
本实用新型提供了一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置，该装置包括离子束溅射装置和准直过滤装置，准直过滤装置与离子束溅射装置的样品架连接，准直过滤装置包括：圆盘、若干过滤网和多个圆环，圆盘的下表面与样品架连接，各圆...
陶海华张双喜乔延琦蒋为桥陈险峰
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