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陈云峰
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
谢锋
中国电子科技集团公司
谢贵久
中国电子科技集团公司
金忠
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何迎辉
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作者
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何迎辉
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金忠
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谢贵久
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陈云峰
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谢锋
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电子与封装
年份
1篇
2012
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倒装焊接在压力敏感芯片封装工艺中的研究
被引量:3
2012年
胶粘引丝无法实现硅压力敏感芯片的小型化封装,无引线封装可以解决该问题。倒装焊接具有高密度、无引线和可靠的优点,通过对传统倒装焊接工艺进行适当的更改,倒装焊接可应用于压力敏感芯片的小型化封装。采用静电封接工艺在普通硅压力敏感芯片上制作保护支撑硅基片,在硅压力敏感芯片的焊盘上制作金凸点,调整倒装焊接的工艺顺序和工艺参数,实现了绝压型硅压力敏感芯片的无引线封装,为压力传感器小型化开辟了一条新路。试验结果表明该封装方式可靠性高,寿命长,具有耐恶劣环境的特点。
金忠
谢锋
何迎辉
谢贵久
陈云峰
张川
潘喜成
杨毓彬
关键词:
倒装焊接
压力传感器
封装
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