胡晓萍
- 作品数：21 被引量：92H指数：7
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 反应溅射Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能被引量：1
- 2005年
- 采用 Ar、N2 和 SiH4 混合气体反应溅射制备了一系列不同 Si 含量的 Ti- Al- Si- N 薄膜,并采用EDS、AES、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的微结构和力学性能。结果表明通过控制混合气体中SiH4 分压可以方便地获得不同 Si 含量的 Ti- Al -Si N纳米晶复合薄膜。当 Si 含量达到 3. 5% (原子分数)时,薄膜中出现 TiSix 界面相,造成(Ti,Al)N 晶粒细化,使薄膜力学性能得到提高,硬度和弹性模量的最高值分别为 36.0GPa和 400GPa。进一步提高 Si 含量,薄膜的力学性能逐渐降低。
- 董云杉孔明胡晓萍李戈扬顾明元
- 关键词：反应溅射微结构力学性能
- Ti-Si-N复合膜的界面相研究被引量：8
- 2005年
- 为了揭示Ti_Si_N复合膜中Si3N4界面相的存在方式及其对薄膜力学性能的影响,采用x射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和显微硬度仪对比研究了磁控溅射Ti_Si_N复合膜和TiN/Si3N4多层膜的微结构和力学性能.实验结果表明,Ti_Si_N复合膜均形成了Si3N4界面相包裹TiN纳米晶粒的微结构.其中低Si含量的Ti_Si_N复合膜中Si3N4界面相的厚度小于1nm,且以晶体态存在,薄膜呈现高硬度.而高Si含量的Ti_Si_N复合膜中的Si3N4界面相以非晶态存在,薄膜的硬度也相应降低.显然,Ti_Si_N复合膜中Si3N4界面相以晶体态形式存在是薄膜获得高硬度的重要微结构特征,其强化机制可能与多层膜的超硬效应是相同的.
- 孔明胡晓萍董云杉李戈扬顾明元
- 关键词：TI-SI-N界面相高分辨透射电子显微镜俄歇电子能谱仪纳米晶粒超硬效应
- TiN/Si_3N_4纳米多层膜的生长结构与超硬效应被引量：17
- 2005年
- 采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了Si3N4和TiN层厚对多层膜生长结构和力学性能的影响。结果表明:当Si3N4层厚小于0.7 nm时,原为非晶的Si3N4在TiN的模板作用下晶化并与之形成共格外延生长的柱状晶,使TiN/Si3N4多层膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应。最高硬度和弹性模量分别为34.0 GPa和353.5 GPa。当其厚度大于1.3 nm时,Si3N4呈现非晶态,阻断了TiN的外延生长,多层膜的力学性能明显降低。此外,TiN层厚的增加也会对TiN/Si3N4多层膜的生长结构和力学性能造成影响,随着TiN层厚的增加,多层膜的硬度和弹性模量缓慢下降。
- 胡晓萍董云杉孔明李戈扬顾明元
- 关键词：超硬效应
- Me-Si-N纳米晶复合膜的制备及其超硬机理研究
- 该文对Me-Si-N纳米晶复合膜的制备技术及其超硬机理进行了研究.在采用双靶溅射法(简称双靶法)制备Ti-Si-N复合膜的基础上,为了提高薄膜的制备效率,设计并研究了一种制备复合膜的新工艺-双反应气体溅射法(简称双气源法...
- 胡晓萍
- 关键词：超硬效应
- 文献传递
- Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察
- 本文采用多靶磁控反应溅射的方法制备了Nb-Si-N系混合薄膜,研究了Si在Nb-Si-N系薄膜中的存在形式,及其对薄膜的微结构和力学性能的影响.
- 韩增虎胡晓萍劳技军李戈扬
- 关键词：硬质薄膜电镜观察薄膜微结构力学性能
- 文献传递
- 基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响
- 本文采用ANELVA SPC-350多靶磁控溅射仪制备,Cr薄膜,并研究了基片温度从室温到450℃间对Cr薄膜的微结构和力学性能的影响.
- 劳技军韩增虎胡晓萍李戈扬杨春生
- 关键词：溅射法基片温度电镜观察薄膜微结构力学性能
- 文献传递
- 两相纳米陶瓷薄膜的结构特征与超硬效应
- 李戈扬许俊华岳建岭胡晓萍魏仑
- 该项目属材料科学技术学科，无机涂层与薄膜材料学领域。研究工作得到2项国家自然基金面上项目和1项上海市纳米专项基金的支持。探寻更高硬度并具优异综合性能的薄膜材料一直是表面涂层材料研究中的重要研究方向。由两相陶瓷组成的二维结...
- 关键词：
- 关键词：纳米多层膜陶瓷薄膜结构特征超硬效应
- 硬质纳米复合薄膜及其制作工艺
- 一种硬质纳米复合薄膜及其制作工艺，属于材料的陶瓷薄膜领域。其硬度在39.9Gpa至53Gpa范围，成分配方原子百分比为：Nb：25-40%，Si：1-15%，N：50-65%，薄膜厚度为1μm-3μm，薄膜中存在NbN纳...
- 李戈扬韩增虎胡晓萍戴嘉维顾明元
- 文献传递
- c-AIN的生长对AIN/(Ti,Al)N纳米多层膜力学性能的影响被引量：9
- 2003年
- 采用反应磁控溅射制备了具有不同调制周期的AIN/(Ti,Al)N纳米多层膜,研究了亚稳相立方氮化铝(c-AIN)在纳米多层膜中的生长条件及其对薄膜力学性能的影响。结果表明:在小调制周期下AIN以立方结构存在,并与(Ti,Al)N层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变。与此相应,AIN/(Ti,Al)N纳米多层膜硬度和弹性模量随调制周期的减小呈单凋上升的趋势,当调制周期小于8～10 nm时其增速明显增大,并在调制周期为1.3 nm时达到最高硬度29.0GPa和最高弹性模量383 GPa.AIN/(Ti,Al)N纳米多层膜的硬度和弹性模量在小调制周期时的升高与亚稳相c-AIN的产生并和(Ti,Al)N形成共格结构有关。
- 胡晓萍李戈扬顾明元
- 关键词：无机非金属材料材料表面与界面纳米多层膜亚稳相
- 耐火抗震建筑用钢及其生产方法
- 本发明涉及一种耐火抗震建筑用钢，其化学成分(按重量百分比)为：C：0.1-0.18％，Si：0.1-0.50％，Mn：1-1.80％，P≤0.025％，S≤0.015％，Cr≤0.50％，Mo≤0.30％，Al≤0.04...
- 温东辉胡晓萍宋凤明万荣春孙峰张澜庭崔慧然
- 文献传递
