劳技军
- 作品数：18 被引量：64H指数：5
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
- TiN/SiC纳米多层膜的生长结构与力学性能被引量：31
- 2004年
- 研究了TiN SiC纳米多层膜中立方SiC(B1 cubicSiC)的形成及其对TiN SiC多层膜力学性能的影响 .结果表明 :在TiN SiC多层膜中 ,非晶态的SiC层在厚度小于 0 6nm时形成立方结构并与TiN形成共格外延生长的超晶格柱状晶 ,使多层膜产生硬度和弹性模量显著升高的超硬效应 ,最高硬度超过 6 0GPa .SiC随着层厚的增加转变为非晶相 ,从而阻止了多层膜的共格外延生长 ,使薄膜呈现TiN纳米晶和SiC非晶组成的层状结构特征 ,同时多层膜的硬度和弹性模量下降 .TiN
- 劳技军孔明张惠娟李戈扬
- 关键词：超硬效应
- 纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察被引量：5
- 2002年
- 田家万劳技军虞晓江李戈扬宁兆元
- 关键词：纳米多层膜AINHRTEM高分辨电子显微镜立方相
- 基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响被引量：4
- 2002年
- 劳技军韩增虎胡晓萍李戈扬杨春生
- 关键词：基片温度微结构力学性能生长速率磁控溅射电子显微分析
- Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察
- 2002年
- 韩增虎胡晓萍劳技军李戈扬
- 关键词：HRTEM高分辨电子显微镜微结构弹性模量
- 气相沉积Ni薄膜的微结构和力学性能
- 气相沉积Ni薄膜是微机械技术中的重要材料.本文采用SEM、TEM、AFM和毫牛力学探针研究了不同沉积温度下Ni薄膜的微结构和力学性能,并研究了基片温度对其微结构和力学性能的影响.结果表明,室温下溅射沉积的Ni薄膜晶粒细小...
- 劳技军韩增虎田家万李戈扬杨春生
- 关键词：微结构显微硬度弹性模量
- 文献传递
- SiC/TiN超硬纳米多层膜及其制作工艺
- 一种SiC/TiN超硬纳米多层膜及其制作工艺，属于陶瓷薄膜领域。SiC/TiN超硬纳米多层膜由TiN层和SiC层交替沉积在金属或陶瓷的基体上组成，TiN层的厚度为4～50nm，SiC层的厚度为0.4～0.8nm，纳米多层...
- 李戈扬劳技军孔明戴嘉维张惠娟顾明元
- 文献传递
- 纳米多层膜中晶体生长的互促效应被引量：2
- 2004年
- 劳技军曹章轶孔明董云杉李戈扬
- 关键词：纳米多层膜晶体生长碳化硅材料晶体结构分析
- Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察
- 本文采用多靶磁控反应溅射的方法制备了Nb-Si-N系混合薄膜,研究了Si在Nb-Si-N系薄膜中的存在形式,及其对薄膜的微结构和力学性能的影响.
- 韩增虎胡晓萍劳技军李戈扬
- 关键词：硬质薄膜电镜观察薄膜微结构力学性能
- 文献传递
- 基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响
- 本文采用ANELVA SPC-350多靶磁控溅射仪制备,Cr薄膜,并研究了基片温度从室温到450℃间对Cr薄膜的微结构和力学性能的影响.
- 劳技军韩增虎胡晓萍李戈扬杨春生
- 关键词：溅射法基片温度电镜观察薄膜微结构力学性能
- 文献传递
- 纳米多层膜中的相转变与超硬效应
- 本文通过气相沉积的制备方法，分别研究了AlN/VN多层膜中AlN从稳定相六方相（h-AlN）转变为亚稳立方相（c-AlN）和TiN/SiC多层膜中非晶SiC晶化为立方SiC（c-SiC）的相转变过程，并讨论了两种不同结构...
- 劳技军
- 关键词：纳米多层膜超硬效应晶体生长力学性能气相沉积相转变
