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汤庭螯

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电路工艺
  • 1篇膜集成电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路工艺
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇薄膜集成电路
  • 1篇VLSI
  • 1篇VLSI/U...
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇王晓晖
  • 1篇黄宜平
  • 1篇季中妹
  • 1篇李爱珍
  • 1篇汤庭螯
  • 1篇邹斯洵

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
VLSI/ULSI器件薄膜材料和器件工艺技术
黄宜平李爱珍汤庭螯邹斯洵王晓晖季中妹
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1、成果简介：该成果开发了一种高选择和自终止多孔氧化硅SOI技术，采用该种技术可以获得3in高质量的SOI材料。该种SOI材料具有许多优点：1、SOI硅膜质量和体硅相当，硅膜一般...
关键词：
关键词：超大规模集成电路薄膜集成电路半导体工艺集成电路工艺VLSI
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