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倪金玉
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10
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
李忠辉
中国电子科技集团公司第五十五研...
董逊
中国电子科技集团公司第五十五研...
彭大青
中国电子科技集团公司第五十五研...
李亮
中国电子科技集团公司第五十五研...
张东国
中国电子科技集团公司第五十五研...
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倪金玉
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表面无微裂纹的Si基III族氮化物外延片
本发明是表面无微裂纹的Si基III族氮化物外延片,其特征是包括Si衬底、二层AlN成核层、三层Al组分递减的Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1−x</Sub>N中间层、一层Al<Sub>a</Sub>Ga<Su...
倪金玉
潘磊
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复合缓冲层的氮化物高电子迁移率晶体管外延结构
本发明是复合缓冲层的氮化物高电子迁移率晶体管外延结构,其结构是衬底上是生长成核层;成核层上是第一缓冲层;在缓冲层上是生长缓冲层;在第二缓冲层上是生长沟道层;在沟道层上是生长势垒层;其生长方法包括,衬底经清洗、吹干后在反应...
彭大青
李忠辉
董逊
李亮
倪金玉
张东国
文献传递
含高阻寄生导电层的硅基III族氮化物薄膜及生长方法
本发明是硅基III族氮化物薄膜高阻寄生导电层及生长方法,其结构包含硅衬底和硅基III族氮化物薄膜,其中硅基III族氮化物薄膜包含氮化铝成核层、过渡层和氮化镓层,其中氮化铝成核层位于硅衬底和过渡层之间。生长方法:1)采用1...
倪金玉
李忠辉
陈堂胜
利用多缓冲层制备宽禁带单晶薄膜及方法
本发明是利用多缓冲层制备宽禁带单晶薄膜及方法,单晶硅衬底上是高V/III比氮化铝缓冲层;高V/III比氮化铝缓冲层上是低V/III比氮化铝缓冲层;低V/III比氮化铝缓冲层上是碳化硅单晶薄膜;碳化硅单晶薄膜上是宽禁带单晶...
李忠辉
彭大青
李亮
董逊
倪金玉
张东国
表面无微裂纹的Si基III族氮化物外延片
本发明是表面无微裂纹的Si基III族氮化物外延片,其特征是包括Si衬底、二层AlN成核层、三层Al组分递减的Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1</Sub><Sub>?</Sub><Sub>x</Sub>N中间层...
倪金玉
潘磊
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复合缓冲层的氮化物高电子迁移率晶体管外延结构
本发明是复合缓冲层的氮化物高电子迁移率晶体管外延结构,其结构是衬底上是生长成核层;成核层上是第一缓冲层;在缓冲层上是生长缓冲层;在第二缓冲层上是生长沟道层;在沟道层上是生长势垒层;其生长方法包括,衬底经清洗、吹干后在反应...
彭大青
李忠辉
董逊
李亮
倪金玉
张东国
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一种硅衬底上AlGaN/GaN异质结构及其生长方法
本发明公开了一种硅衬底上AlGaN/GaN异质结构及生长方法,首先通入氨气对Si(111)衬底进行表面氮化处理;再在Si衬底上生长AlN成核层;生长Al组分阶梯递减的AlxGa1‑xN缓冲层和AlN/GaN超晶格作为复合...
潘磊
董逊
李忠辉
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利用多缓冲层制备宽禁带单晶薄膜及方法
本发明是利用多缓冲层制备宽禁带单晶薄膜及方法,单晶硅衬底上是高V/III比氮化铝缓冲层;高V/III比氮化铝缓冲层上是低V/III比氮化铝缓冲层;低V/III比氮化铝缓冲层上是碳化硅单晶薄膜;碳化硅单晶薄膜上是宽禁带单晶...
李忠辉
彭大青
李亮
董逊
倪金玉
张东国
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低弯曲度硅基III族氮化物外延片及生长方法
本发明是低弯曲度硅基III族氮化物外延片及生长方法,结构包含硅衬底、氮化铝成核层、铝镓氮过渡层和III族氮化物层,其中氮化铝成核层位于硅衬底和铝镓氮过渡层间,铝镓氮过渡层位于氮化铝成核层和III族氮化物层间;铝镓氮过渡层...
倪金玉
李忠辉
陈堂胜
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含高阻寄生导电层的硅基III族氮化物薄膜及生长方法
本发明是硅基III族氮化物薄膜高阻寄生导电层及生长方法,其结构包含硅衬底和硅基III族氮化物薄膜,其中硅基III族氮化物薄膜包含氮化铝成核层、过渡层和氮化镓层,其中氮化铝成核层位于硅衬底和过渡层之间。生长方法:1)采用1...
倪金玉
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陈堂胜
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