熊小义
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用被引量：4
- 2001年
- 一、引言
微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景.我国以前自主研制的微力传感器基本上都是采用半导体应变片和扩散硅制成的压阻式传感器,其主要缺点是漂移较大,要实现高精度测量与长期监测较为困难.而谐振式传感器由于具有频率输出、高稳定性和高分辨率等优点,被看作是力敏传感器的发展趋势之一.国外已研制出力、压力、加速度等多种谐振式固态传感器,其中荷兰Twente理工大学研制出一种硅谐振式微力传感器,其量程仅为0～0.4牛顿.该传感器的核心敏感元件是一个6×0.4×0.02mm3的双端固支谐振硅梁,由各向异性腐蚀技术加工而成.
- 孔德义虞承端梅涛陈永李科熊小义
- 关键词：微力传感器
- 用于水下微机器人驱动的智能执行材料的制备和驱动特性研究被引量：4
- 2003年
- 智能材料具有感知和执行功能,近年来受到广泛研究。在微机器人领域智能材料作为微驱动器,有着广泛的应用前景。本实验制备了一种铁磁性智能执行材料,并研究了该材料在磁场下的形变特性。采用该材料作微执行器制作出了水下微机器人模型。实验表明,该模型在交变磁场的作用下,微执行器将做高频率划动,使水下微机器人模型能够在水中产生运动。这种外场驱动方法和材料在医学领域有着良好的应用前景。
- 陈永孔德义李科熊小义梅涛
- 关键词：微机器人微执行器水下机器人
